Chì sò i vantaghji di i prucessi Through Glass Via (TGV) è Through Silicon Via, TSV (TSV) nantu à TGV?

I vantaghji diVia Glass Via (TGV)è Tramite Silicon Via (TSV) i prucessi nantu à TGV sò principalmente:

(1) eccellenti caratteristiche elettriche d'alta frequenza. U materiale di vetru hè un materiale isolante, a constante dielettrica hè solu circa 1/3 di quella di u materiale di siliciu, è u fattore di perdita hè 2-3 ordini di grandezza più bassu di quellu di u materiale di siliciu, chì face a perdita di sustrato è l'effetti parassitari assai ridotti. è assicura l'integrità di u signale trasmessu;

(2)grande dimensione è sustrato di vetru ultra-sottilehè faciule d'ottene. Corning, Asahi è SCHOTT è altri pruduttori di vetru ponu furnisce vetru di pannelli ultra-grande (> 2m × 2m) è ultra-sottile (<50µm) è materiali di vetru flexible ultra-sottile.

3) Low cost. Benefittate di l'accessu faciule à u vetru di pannellu ultra-sottile di grande dimensione, è ùn hà micca bisognu di a deposizione di strati insulating, u costu di pruduzzione di u platu di l'adattatore di vetru hè solu circa 1/8 di u pianu di l'adattatore basatu in silicone;

4) prucessu simplice. Ùn ci hè micca bisognu di diposità una capa insulante nantu à a superficia di u sustrato è u muru internu di u TGV, è ùn hè micca necessariu di diluzione in u pianu di l'adattatore ultra-thin;

(5) Forte stabilità meccanica. Ancu quandu u spessore di a piastra di l'adattatore hè menu di 100 µm, u warpage hè sempre chjucu;

(6) Una larga gamma d'applicazioni, hè una tecnulugia d'interconnessione longitudinale emergente applicata in u campu di l'imballaggio à livellu di wafer, per ottene a distanza più corta trà l'ostia-wafer, u pitch minimu di l'interconnessione furnisce una nova strada di tecnulugia, cù un eccellente elettricu. , proprietà termiche, meccaniche, in u chip RF, sensori MEMS high-end, integrazione di sistema di alta densità è altre aree cù vantaghji unichi, hè a prossima generazione di 5G, 6G. chip d'alta frequenza 3D Hè una di e prime scelte per l'imballaggio 3D di chips d'alta frequenza 5G è 6G di prossima generazione.

U prucessu di stampatura di TGV include principalmente sabbiatura, perforazione ultrasonica, incisione umida, incisione ionica reattiva profonda, incisione fotosensibile, incisione laser, incisione in profondità indotta da laser, è a furmazione di u focu di scaricamentu.

I risultati recenti di ricerca è sviluppu dimustranu chì a tecnulugia pò preparà à traversu i buchi è i buchi 5: 1 ciechi cù una proporzione di prufundità à larghezza di 20: 1, è avè una bona morfologia. L'incisione profonda indotta da laser, chì si traduce in una piccula rugosità di a superficia, hè u metudu più studiatu attualmente. Comu mostra in a Figura 1, ci sò crack evidenti intornu à a perforazione laser ordinaria, mentre chì i muri circundanti è laterali di l'incisione profonda indotta da laser sò puliti è lisci.

U prucessu di trasfurmazioni diTGVinterposer hè mostratu in Figura 2. U schema generale hè di drill fori nantu à u sustrato di vetru prima, è poi dipositu a capa di barriera è a capa di sumente nantu à u muru laterale è a superficia. A capa di barriera impedisce a diffusione di Cu à u sustrato di vetru, mentri aumentà l'aderenza di i dui, sicuru, in certi studii ancu truvaru chì a capa di barriera ùn hè micca necessariu. Allora u Cu hè dipositu da l'electroplating, poi ricotta, è a capa di Cu hè eliminata da CMP. Infine, a strata di rewiring RDL hè preparata da litografia di revestimentu PVD, è a strata di passivazione hè furmata dopu chì a cola hè eliminata.

(a) Preparazione di wafer, (b) furmazione di TGV, (c) galvanica a doppia faccia - deposizione di rame, (d) ricottura è lucidatura chimico-meccanica CMP, rimozione di a superficia di rame, (e) rivestimentu PVD è litografia , (f) posizionamento dello strato di ricablaggio RDL, (g) deglutazione e incisione Cu/Ti, (h) formazione di strato di passivazione.

Per riassume,vetru à traversu (TGV)e prospettive di l'applicazione sò larghe, è u mercatu domesticu attuale hè in una tappa crescente, da l'equipaggiu à u disignu di u produttu è u tassu di crescita di ricerca è sviluppu hè più altu ch'è a media globale.

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