Substratu SiC di 12 pollici Diametru 300 mm Spessore 750 μm Tipu 4H-N pò esse persunalizatu

Descrizzione breve:

À un puntu criticu di a transizione di l'industria di i semiconduttori versu suluzioni più efficienti è compatte, l'emergenza di u substratu SiC di 12 pollici (substratu di carburo di siliciu di 12 pollici) hà trasfurmatu fundamentalmente u paisaghju. Paragunatu à e specificazioni tradiziunali di 6 pollici è 8 pollici, u vantaghju di grande dimensione di u substratu di 12 pollici aumenta u numeru di chip prudutti per wafer di più di quattru volte. Inoltre, u costu unitariu di u substratu SiC di 12 pollici hè riduttu di 35-40% paragunatu à i substrati cunvinziunali di 8 pollici, ciò chì hè cruciale per l'adopzione diffusa di i prudutti finali.
Impieghjendu a nostra tecnulugia pruprietaria di crescita di u trasportu di vapore, avemu ottenutu un cuntrollu di punta nantu à a densità di dislocazione in cristalli di 12 pollici, furnendu una basa materiale eccezziunale per a successiva fabricazione di dispositivi. Questu avanzamentu hè particularmente significativu in mezu à l'attuale scarsità mundiale di chip.

I principali dispusitivi di putenza in l'applicazioni di ogni ghjornu, cum'è e stazioni di ricarica rapida per veiculi elettrichi è e stazioni base 5G, stanu aduttendu sempre di più questu substratu di grande dimensione. In particulare in ambienti operativi à alta temperatura, alta tensione è altri ambienti difficili, u substratu SiC di 12 pollici dimostra una stabilità assai superiore à i materiali à basa di silicone.


Dettagli di u produttu

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Parametri tecnichi

Specificazione di u substratu di carburu di siliciu (SiC) di 12 pollici
Gradu Pruduzzione ZeroMPD
Gradu (Gradu Z)
Pruduzzione Standard
Gradu (Gradu P)
Gradu fittiziu
(Gradu D)
Diametru 3 0 0 mm ~ 1305 mm
Spessore 4H-N 750 μm ± 15 μm 750 μm ± 25 μm
  4H-SI 750 μm ± 15 μm 750 μm ± 25 μm
Orientazione di a cialda Fora d'asse: 4,0° versu <1120 >±0,5° per 4H-N, Nantu à l'asse: <0001>±0,5° per 4H-SI
Densità di i microtubi 4H-N ≤0,4 cm-2 ≤4cm-2 ≤25cm-2
  4H-SI ≤5cm-2 ≤10cm-2 ≤25cm-2
Resistività 4H-N 0,015~0,024 Ω·cm 0,015~0,028 Ω·cm
  4H-SI ≥1E10 Ω·cm ≥1E5 Ω·cm
Orientazione Piatta Primaria {10-10} ±5,0°
Lunghezza piatta primaria 4H-N N/D
  4H-SI Tacca
Esclusione di u bordu 3 mm
LTV/TTV/Arcu /Orditu ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
Rugosità Ra ≤1 nm polaccu
  CMP Ra≤0.2 nm Ra≤0.5 nm
Crepe di bordu da luce d'alta intensità
Piatti esagonali da luce ad alta intensità
Zone Politipiche per Luce d'Alta Intensità
Inclusioni di Carboniu Visuale
Graffii di a superficia di u silicone da a luce d'alta intensità
Nimu
Area cumulativa ≤0,05%
Nimu
Area cumulativa ≤0,05%
Nimu
Lunghezza cumulativa ≤ 20 mm, lunghezza unica ≤ 2 mm
Area cumulativa ≤0,1%
Area cumulativa ≤3%
Area cumulativa ≤3%
Lunghezza cumulativa ≤1 × diametru di a cialda
Chip di bordu da luce d'alta intensità Nisunu permessu ≥0,2 mm di larghezza è prufundità 7 permessi, ≤1 mm ognunu
(TSD) Dislocazione di a vite di filettatura ≤500 cm-2 N/D
(BPD) Dislocazione di u pianu di basa ≤1000 cm-2 N/D
Cuntaminazione di a superficia di u siliciu da a luce d'alta intensità Nimu
Imballaggio Cassetta multi-cialda o contenitore di cialda unica
Note:
1 I limiti di difetti s'applicanu à tutta a superficia di a cialda, eccettu per a zona di esclusione di u bordu.
2I graffi devenu esse verificati solu nantu à a faccia Si.
3 I dati di dislocazione sò solu da wafer incisi cù KOH.

 

Caratteristiche principali

1. Capacità di Produzione è Vantaghji di Costu: A pruduzzione di massa di substratu SiC di 12 pollici (substratu di carburo di siliciu di 12 pollici) marca una nova era in a fabricazione di semiconduttori. U numeru di chip ottenibili da una sola cialda righjunghje 2,25 volte quellu di substrati di 8 pollici, ciò chì porta direttamente à un aumentu di l'efficienza di pruduzzione. I feedback di i clienti indicanu chì l'adozione di substrati di 12 pollici hà riduttu i so costi di pruduzzione di moduli di putenza di u 28%, creendu un vantaghju cumpetitivu decisivu in u mercatu assai cuntestatu.
2. Proprietà Fisiche Eccezziunali: U substratu SiC di 12 pollici eredita tutti i vantaghji di u materiale di carburo di siliciu - a so cunduttività termica hè 3 volte quella di u siliciu, mentre chì a so forza di campu di rottura righjunghji 10 volte quella di u siliciu. Queste caratteristiche permettenu à i dispositivi basati nantu à substrati di 12 pollici di funziunà stabilmente in ambienti à alta temperatura superiore à 200 ° C, rendenduli particularmente adatti per applicazioni esigenti cum'è i veiculi elettrici.
3. Tecnulugia di Trattamentu di Superficie: Avemu sviluppatu un novu prucessu di lucidatura chimica meccanica (CMP) specificamente per i substrati di SiC di 12 pollici, ottenendu una planarità di superficie à livellu atomicu (Ra <0,15 nm). Questa scuperta risolve a sfida mundiale di u trattamentu di superficie di wafer di carburo di siliciu di grande diametru, superendu l'ostaculi per a crescita epitassiale di alta qualità.
4. Prestazioni di Gestione Termica: In applicazioni pratiche, i substrati SiC di 12 pollici dimustranu capacità notevuli di dissipazione di u calore. I dati di prova mostranu chì sottu a stessa densità di putenza, i dispositivi chì utilizanu substrati di 12 pollici operanu à temperature 40-50 ° C inferiori à i dispositivi à basa di silicone, allungendu significativamente a vita di serviziu di l'apparecchiatura.

Applicazioni principali

1. Novu Ecosistema di Veiculi Energetici: U substratu SiC di 12 pollici (substratu di carburo di siliciu di 12 pollici) rivoluziona l'architettura di u gruppu motopropulsore di i veiculi elettrici. Da i caricabatterie di bordo (OBC) à l'inverter principali è i sistemi di gestione di a batteria, i miglioramenti di l'efficienza apportati da i substrati di 12 pollici aumentanu l'autonomia di u veiculu di 5-8%. I rapporti di un fabricatore di automobili di punta indicanu chì l'adozione di i nostri substrati di 12 pollici hà riduttu a perdita di energia in u so sistema di carica rapida di un impressiunante 62%.
2. Settore di l'Energie Rinnuvevuli: In e centrale fotovoltaiche, l'inverter basati nantu à substrati SiC di 12 pollici ùn solu presentanu fattori di forma più chjuchi, ma ottenenu ancu un'efficienza di cunversione superiore à u 99%. In particulare in scenarii di generazione distribuita, sta alta efficienza si traduce in risparmi annuali di centinaie di migliaia di yuan in perdite di elettricità per l'operatori.
3. Automatizazione Industriale: I convertitori di frequenza chì utilizanu substrati di 12 pollici dimustranu prestazioni eccellenti in robot industriali, macchine utensili CNC è altri equipaggiamenti. E so caratteristiche di commutazione ad alta frequenza migliuranu a velocità di risposta di u mutore di u 30% riducendu à tempu l'interferenza elettromagnetica à un terzu di e soluzioni cunvenziunali.
4. Innuvazione in l'elettronica di cunsumu: E tecnulugie di carica rapida per smartphone di prossima generazione anu cuminciatu à aduttà substrati SiC di 12 pollici. Si prevede chì i prudutti di carica rapida sopra i 65W passeranu cumpletamente à e soluzioni di carburo di siliciu, cù i substrati di 12 pollici chì emergenu cum'è a scelta ottima in termini di costu-prestazioni.

Servizi persunalizati XKH per substratu SiC di 12 pollici

Per risponde à i requisiti specifichi per i substrati SiC di 12 pollici (substrati di carburo di siliciu di 12 pollici), XKH offre un supportu di serviziu cumpletu:
1. Personalizazione di u spessore:
Fornemu substrati di 12 pollici in diverse specifiche di spessore, cumprese 725 μm, per risponde à diverse esigenze di applicazione.
2. Cuncentrazione di doping:
A nostra fabricazione supporta parechji tipi di conductività, cumpresi substrati di tipu n è di tipu p, cù un cuntrollu precisu di a resistività in l'intervallu di 0,01-0,02 Ω·cm.
3. Servizii di prova:
Cù apparecchiature cumplete di prova à livellu di wafer, furnimu rapporti d'ispezione cumpleti.
XKH capisce chì ogni cliente hà esigenze uniche per i substrati SiC di 12 pollici. Dunque, offremu mudelli di cuuperazione cummerciale flessibili per furnisce e soluzioni più cumpetitive, sia per:
· Campioni di R&S
· Acquisti di pruduzzione in vulume
I nostri servizii persunalizati garantiscenu chì pudemu risponde à i vostri bisogni tecnichi è di pruduzzione specifichi per i substrati SiC di 12 pollici.

Substratu SiC di 12 pollici 1
Substratu SiC di 12 pollici 2
Substratu SiC di 12 pollici 6

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