156mm 159mm 6 inch Sapphire Wafer per carrierC-Plane DSP TTV
Specificazione
Articulu | 6-inch C-plane (0001) Sapphire Wafers | |
Materiali Cristalli | 99,999%, Alta Purezza, Al2O3 monocristalline | |
Grade | Primu, Epi-Ready | |
Orientazione di a superficia | C-plane (0001) | |
C-plane off-angle versus M-axis 0,2 +/- 0,1 ° | ||
Diamitru | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Spessore | 650 μm +/- 25 μm | |
Orientazione Piana Primaria | Pianu C (00-01) +/- 0,2 ° | |
Singulu Latu Pulitu | Superficie frontale | Epi-polished, Ra < 0,2 nm (da AFM) |
(SSP) | Superficie posteriore | Terre fine, Ra = 0,8 μm à 1,2 μm |
Doppiu Latu Pulitu | Superficie frontale | Epi-polished, Ra < 0,2 nm (da AFM) |
(DSP) | Superficie posteriore | Epi-polished, Ra < 0,2 nm (da AFM) |
TTV | < 20 μm | |
ARCU | < 20 μm | |
WARP | < 20 μm | |
Pulizia / Packaging | Pulizia di camere bianche di classe 100 è imballaggio à vuoto, | |
25 pezzi in un imballaggio cassette o imballaggio unicu pezzu. |
U metudu Kylopoulos (metu KY) hè attualmente utilizatu da parechje cumpagnie in Cina per pruduce cristalli di zaffiro per l'usu in l'industria elettronica è ottica.
In questu prucessu, l'ossidu d'aluminiu d'alta purezza hè funnutu in un crucible à a temperatura sopra à 2100 gradi Celsius. Di solitu u crucible hè fattu di tungstenu o molibdenu. Un cristallu di sumente orientatu precisamente hè immersa in l'alumina fusa. U cristallu di sumente hè lentamente tiratu in sopra è pò esse rotatu simultaneamente. Per cuntrullà precisamente u gradiente di temperatura, a velocità di pulling è a freccia di rinfrescante, un grande lingotti monocristalli quasi cilindricu pò esse pruduciutu da a fusione.
Dopu chì i lingotti di zaffiro di cristallo unicu sò cultivati, sò perforati in bastoni cilindrichi, chì sò dopu tagliati à u grossu di a finestra desiderata è infine lucidati à a superficia desiderata.