Wafer di zaffiro 156mm 159mm 6 pollici per u trasportatore C-Plane DSP TTV

Wafer di zaffiro di 156 mm 159 mm 6 pollici per u vettore C-Plane DSP TTV Immagine presentata

Descrizzione breve:

Wafer di zaffiro lucidati à doppia faccia (DSP) di 156 mm/159 mm di diametru, 6″ Al2O3 cù TTV inferiore à 3 micron per i pannelli di supportu. Wafer supplementari di 8″ / 6″ / 5″ / 2″ / 3″ / 4″ / 5″ per l'asse C, l'asse A, l'asse R, l'asse M. Wafer di zaffiro di u pianu C finu à 6 pollici (6″/6 pollici) di diametru, cù superfici lucidate à un latu (SSP) o à doppia faccia (DSP), è cù spessori di 650 micron o 1000 micron.

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Specificazione

Articulu	Cialde di zaffiro di 6 pollici (0001) C-plane
Materiali di cristallu	99,999%, Alta Purezza, Al2O3 Monocristallinu
Gradu	Prime, Epi-Ready
Orientazione di a superficia	Pianu C (0001)
	Angulu fora di u pianu C versu l'asse M 0,2 +/- 0,1°
Diametru	100,0 mm +/- 0,1 mm
Spessore	650 μm +/- 25 μm
Orientazione Piatta Primaria	Pianu C (00-01) +/- 0,2°
Lucidatu à un solu latu	Superficie frontale	Epi-lucidatu, Ra < 0,2 nm (per AFM)
(SSP)	Superficie posteriore	Macinazione fina, Ra = 0,8 μm à 1,2 μm
Doppiu Latu Lucidatu	Superficie frontale	Epi-lucidatu, Ra < 0,2 nm (per AFM)
(DSP)	Superficie posteriore	Epi-lucidatu, Ra < 0,2 nm (per AFM)
TTV	< 20 μm
ARCU	< 20 μm
ORDINAZIONE	< 20 μm
Pulizia / Imballaggio	Pulizia di camere bianche di classe 100 è imballaggio sottovuoto,
	25 pezzi in un imballaggio à cassetta o in un imballaggio à pezzu unicu.

U metudu Kylopoulos (metodu KY) hè attualmente utilizatu da parechje cumpagnie in Cina per pruduce cristalli di zaffiro per l'usu in l'industrie elettroniche è ottiche.

In questu prucessu, l'ossidu d'aluminiu d'alta purezza hè scioltu in un crogiolu à temperature superiori à 2100 gradi Celsius. Di solitu u crogiolu hè fattu di tungstenu o molibdenu. Un cristallu di semente orientatu precisamente hè immersu in l'alumina fusa. U cristallu di semente hè tiratu lentamente versu l'altu è pò esse rotatu simultaneamente. Cuntrullendu precisamente u gradiente di temperatura, a velocità di tirata è a velocità di raffreddamentu, si pò pruduce un grande lingotto monocristallino quasi cilindricu da a fusione.

Dopu chì i lingotti di zaffiro monocristallo sò cresciuti, sò perforati in barre cilindriche, chì sò poi tagliate à u spessore di finestra desideratu è infine lucidate à a finitura superficiale desiderata.