Wafer LNOI di film monocristallinu di niobatu di litiu di 4 pollici è 6 pollici

Descrizzione breve:

U niobatu di litiu hà eccellenti proprietà elettro-ottiche, non lineari è piezoelettriche. Cù l'aiutu di a tecnulugia avanzata di micro è nano trasfurmazione, i dispositivi fotonici integrati basati nantu à film sottili di niobatu di litiu (LNOI) nantu à isolanti sò stati sviluppati ampiamente. In u futuru, i materiali LNOI à alte prestazioni susteneranu l'ulteriore sviluppu di micro-nano ottiche basate nantu à LNOI, fotonica integrata è fotonica à microonde. A pruduzzione di materiali LNOI à alte prestazioni serà un passu impurtante in l'applicazione industriale di i dispositivi optoelettronici à niobatu di litiu.

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Funziunalità

U prucessu di preparazione di i materiali LNOI hè principalmente divisu in i seguenti quattru passi

(1) L'ioni He sò stati iniettati in u materiale di niobatu di litiu tagliatu à X à una certa energia, è introdutti in u stratu difettuosu à una certa prufundità sottu à u stratu superficiale di niobatu di litiu;

(2) U materiale di niobatu di litiu impiantatu cù ioni hè ligatu à un substratu di siliciu cù un stratu d'ossidu per furmà una struttura di ligame;

(3) A struttura di legame hè stata ricotta per fà chì i difetti introdutti da l'impiantu di ioni He si evolvanu è si aggreganu per furmà crepe. Infine, u niobatu di litiu hè statu siparatu longu u stratu di difetti per furmà e fette di niobatu di litiu residuale è i wafer LNOI.

Applicazioni è vantaghji di a cialda LNOI

1--I filmi piezoelettrici di niobato di litiu (LNOI) anu un coefficientu piezoelettricu è una costante dielettrica elevati, chì ponu cunvertisce l'energia meccanica in energia elettrica o l'energia elettrica in energia meccanica. Dunque, hè largamente utilizatu in u campu di i sensori, cum'è i sensori di pressione, i sensori di accelerazione, i sensori di temperatura è cusì. Inoltre, u filmu piezoelettricu di niobato di litiu pò ancu esse utilizatu in dispositivi acustici è dispositivi di vibrazione, cum'è u filtru ceramicu piezoelettricu cumplessu di trasduttori ceramici piezoelettrici.

2-A stabilità di u film piezoelettricu di niobatu di litiu hè ancu unu di i so vantaghji. A causa di a so stabilità di struttura cristallina è di l'inerzia chimica, u film piezoelettricu di niobatu di litiu pò funziunà in alta temperatura, alta umidità, acidi forti, alcali forti è altri ambienti difficili, cù una bona resistenza à a corrosione è durabilità.

U film piezoelettricu di niobatu di litiu 3 hè un novu materiale piezoelettricu cù eccellenti prestazioni è stabilità, è hà una larga prospettiva d'applicazione. Cù u sviluppu cuntinuu di a scienza è di a tecnulugia, u film piezoelettricu di niobatu di litiu serà applicatu in più cità, purtendu più cunvenienza è innovazione à a vita di e persone.