4inch 6inch Lithium niobate film unicu cristallu wafer LNOI

Descrizione breve:

Lithium niobate hà eccellenti proprietà elettro-ottiche, non lineari è piezoelettriche. Cù l'aiutu di a tecnulugia avanzata di micro è nano trasfurmazioni, i dispositi di fotonica integrata basati in filmi sottili di niobate di litiu (LNOI) nantu à l'insulatori sò stati sviluppati largamente. In u futuru, i materiali LNOI d'altu rendiment susteneranu u sviluppu ulteriore di l'ottica micro-nano basata in LNOI, a fotonica integrata è a fotonica à microonde. A pruduzzione di materiali LNOI d'altu rendiment serà un passu impurtante in l'applicazione industriale di i dispositi optoelettronici di lithium niobate.

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U prucessu di preparazione di materiali LNOI hè principarmenti divisu in i seguenti quattru passi

(1) I ioni sò stati injected in u materiale di lithium niobate X-cut à una certa energia, è introduttu in a capa di difettu à una certa prufundità sottu à a superficia di niobate di lithium;

(2) U materiale di niobate di lithium implantatu in ioni hè unitu à un sustrato di siliciu cù una capa d'ossidu per furmà una struttura di ligame;

(3) A struttura di ligame hè stata annealed per fà i difetti introdutti da l'implantazione di ioni He evoluzioni è aggregate per furmà crack. Infine, u niobate di lithium hè statu separatu longu a capa di difettu per furmà e fette di niobate di lithium residuale è wafers LNOI.

Applicazioni è vantaghji di wafer LNOI

1 - Lithium niobate piezoelectric films (LNOI) anu altu coefficient piezoelectric è constant dielettricu, chì ponu cunvertisce l'energia meccanica in energia elettrica o energia elettrica in energia meccanica. Per quessa, hè largamente utilizatu in u campu di sensori, cum'è sensori di pressione, sensori di accelerazione, sensori di temperatura è cusì. Inoltre, u film piezoelettricu di niobate di litiu pò ancu esse usatu in i dispositi acustici è i dispusitivi di vibrazione, cum'è un filtru ceramicu piezoelettricu cumplessu di trasduttore di ceramica piezoelettrica.

2-A stabilità di u film piezoelectric di lithium niobate hè ancu unu di i so vantaghji. A causa di a so stabilità di a struttura di cristalli è di l'inerzia chimica, u film piezoelettricu di niobate di litiu pò travaglià in alta temperatura, alta umidità, acidu forte, alkali forte è altri ambienti duru, cù una bona resistenza à a corrosione è durabilità.

U film piezoelettricu di 3-Lithium niobate hè un novu materiale piezoelettricu cù prestazioni eccellenti è stabilità, è hà una larga prospettiva di applicazione. Cù u sviluppu cuntinuu di a scienza è a tecnulugia, u film piezoelettricu di niobate di litiu serà applicatu in più cità, purtendu più comodità è innuvazione à a vita di e persone.