Wafer SiC 4H-N da 8 pollici, 200 mm, di qualità di ricerca fittizia conduttiva
A causa di e so proprietà fisiche è elettroniche uniche, u materiale semiconduttore di wafer SiC di 200 mm hè adupratu per creà dispositivi elettronichi di alte prestazioni, alte temperature, resistenti à e radiazioni è alte frequenze. U prezzu di u substratu SiC di 8 pollici diminuisce gradualmente à misura chì a tecnulugia diventa più avanzata è a dumanda cresce. I recenti sviluppi tecnologichi portanu à a fabricazione in scala di pruduzzione di wafer SiC di 200 mm. I principali vantaghji di i materiali semiconduttori di wafer SiC in paragone cù i wafer Si è GaAs: A forza di u campu elettricu di 4H-SiC durante a rottura di a valanga hè più di un ordine di grandezza superiore à i valori currispondenti per Si è GaAs. Questu porta à una diminuzione significativa di a resistività in statu on Ron. A bassa resistività in statu on, cumminata cù una alta densità di corrente è una cunduttività termica, permette l'usu di die assai chjuchi per i dispositivi di putenza. L'alta cunduttività termica di SiC riduce a resistenza termica di u chip. E proprietà elettroniche di i dispositivi basati nantu à wafer SiC sò assai stabili in u tempu è stabili in temperatura, ciò chì garantisce una alta affidabilità di i prudutti. U carburo di siliciu hè estremamente resistente à a radiazione dura, ciò chì ùn degrada micca e proprietà elettroniche di u chip. L'alta temperatura di funziunamentu limite di u cristallu (più di 6000 °C) permette di creà dispositivi assai affidabili per cundizioni di funziunamentu difficili è applicazioni speciali. Attualmente, pudemu furnisce picculi lotti di wafer di SiC di 200 mm in modu regulare è continuu è avemu qualchì stock in u magazzinu.
Specificazione
Numeru | Articulu | Unità | Pruduzzione | Ricerca | Manichinu |
1. Parametri | |||||
1.1 | politipu | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | orientazione di a superficia | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
2. Parametru elettricu | |||||
2.1 | dopante | -- | azotu di tipu n | azotu di tipu n | azotu di tipu n |
2.2 | resistività | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
3. Parametru mecanicu | |||||
3.1 | diametru | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
3.2 | spessore | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Orientazione di a tacca | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Prufundità di a tacca | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Arcu | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Orditu | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
4. Struttura | |||||
4.1 | densità di micropipe | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | cuntenutu di metalli | atomi/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. Qualità pusitiva | |||||
5.1 | fronte | -- | Si | Si | Si |
5.2 | finitura superficiale | -- | CMP Si-face | CMP Si-face | CMP Si-face |
5.3 | particella | ea/cialda | ≤100 (dimensione ≥0.3μm) | NA | NA |
5.4 | grattà | ea/cialda | ≤5, Lunghezza tutale ≤200mm | NA | NA |
5.5 | Bordu scheggiature/incisioni/crepe/macchie/contaminazione | -- | Nimu | Nimu | NA |
5.6 | Zone di politipu | -- | Nimu | Zona ≤10% | Zona ≤30% |
5.7 | marcatura frontale | -- | Nimu | Nimu | Nimu |
6. Qualità di u spinu | |||||
6.1 | finitura posteriore | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
6.2 | grattà | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Difetti di u bordu di u spinu schegge/rientranze | -- | Nimu | Nimu | NA |
6.4 | Rugosità di a schiena | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6.5 | Marcatura di u spinu | -- | Tacca | Tacca | Tacca |
7. Bordu | |||||
7.1 | bordu | -- | Smussatu | Smussatu | Smussatu |
8. Pacchettu | |||||
8.1 | imballaggio | -- | Epi-ready cù u vacuum imballaggio | Epi-ready cù u vacuum imballaggio | Epi-ready cù u vacuum imballaggio |
8.2 | imballaggio | -- | Multi-cialda imballaggio di cassette | Multi-cialda imballaggio di cassette | Multi-cialda imballaggio di cassette |
Diagramma dettagliatu



