Wafer SiC 4H-N da 8 pollici, 200 mm, di qualità di ricerca fittizia conduttiva

Descrizzione breve:

Cù l'evoluzione di i mercati di i trasporti, di l'energia è di l'industria, a dumanda di elettronica di putenza affidabile è d'alte prestazioni cuntinueghja à cresce. Per risponde à i bisogni di prestazioni migliorate di i semiconduttori, i pruduttori di dispositivi cercanu materiali semiconduttori à banda larga, cum'è u nostru portafogliu 4H SiC Prime Grade di wafer di carburo di siliciu (SiC) di tipu 4H n.


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A causa di e so proprietà fisiche è elettroniche uniche, u materiale semiconduttore di wafer SiC di 200 mm hè adupratu per creà dispositivi elettronichi di alte prestazioni, alte temperature, resistenti à e radiazioni è alte frequenze. U prezzu di u substratu SiC di 8 pollici diminuisce gradualmente à misura chì a tecnulugia diventa più avanzata è a dumanda cresce. I recenti sviluppi tecnologichi portanu à a fabricazione in scala di pruduzzione di wafer SiC di 200 mm. I principali vantaghji di i materiali semiconduttori di wafer SiC in paragone cù i wafer Si è GaAs: A forza di u campu elettricu di 4H-SiC durante a rottura di a valanga hè più di un ordine di grandezza superiore à i valori currispondenti per Si è GaAs. Questu porta à una diminuzione significativa di a resistività in statu on Ron. A bassa resistività in statu on, cumminata cù una alta densità di corrente è una cunduttività termica, permette l'usu di die assai chjuchi per i dispositivi di putenza. L'alta cunduttività termica di SiC riduce a resistenza termica di u chip. E proprietà elettroniche di i dispositivi basati nantu à wafer SiC sò assai stabili in u tempu è stabili in temperatura, ciò chì garantisce una alta affidabilità di i prudutti. U carburo di siliciu hè estremamente resistente à a radiazione dura, ciò chì ùn degrada micca e proprietà elettroniche di u chip. L'alta temperatura di funziunamentu limite di u cristallu (più di 6000 °C) permette di creà dispositivi assai affidabili per cundizioni di funziunamentu difficili è applicazioni speciali. Attualmente, pudemu furnisce picculi lotti di wafer di SiC di 200 mm in modu regulare è continuu è avemu qualchì stock in u magazzinu.

Specificazione

Numeru Articulu Unità Pruduzzione Ricerca Manichinu
1. Parametri
1.1 politipu -- 4H 4H 4H
1.2 orientazione di a superficia ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2. Parametru elettricu
2.1 dopante -- azotu di tipu n azotu di tipu n azotu di tipu n
2.2 resistività ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parametru mecanicu
3.1 diametru mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 spessore μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientazione di a tacca ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Prufundità di a tacca mm 1~1.5 1~1.5 1~1.5
3.5 LTV μm ≤5 (10mm * 10mm) ≤5 (10mm * 10mm) ≤10 (10mm * 10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arcu μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Orditu μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4. Struttura
4.1 densità di micropipe ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 cuntenutu di metalli atomi/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Qualità pusitiva
5.1 fronte -- Si Si Si
5.2 finitura superficiale -- CMP Si-face CMP Si-face CMP Si-face
5.3 particella ea/cialda ≤100 (dimensione ≥0.3μm) NA NA
5.4 grattà ea/cialda ≤5, Lunghezza tutale ≤200mm NA NA
5.5 Bordu
scheggiature/incisioni/crepe/macchie/contaminazione
-- Nimu Nimu NA
5.6 Zone di politipu -- Nimu Zona ≤10% Zona ≤30%
5.7 marcatura frontale -- Nimu Nimu Nimu
6. Qualità di u spinu
6.1 finitura posteriore -- C-face MP C-face MP C-face MP
6.2 grattà mm NA NA NA
6.3 Difetti di u bordu di u spinu
schegge/rientranze
-- Nimu Nimu NA
6.4 Rugosità di a schiena nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Marcatura di u spinu -- Tacca Tacca Tacca
7. Bordu
7.1 bordu -- Smussatu Smussatu Smussatu
8. Pacchettu
8.1 imballaggio -- Epi-ready cù u vacuum
imballaggio
Epi-ready cù u vacuum
imballaggio
Epi-ready cù u vacuum
imballaggio
8.2 imballaggio -- Multi-cialda
imballaggio di cassette
Multi-cialda
imballaggio di cassette
Multi-cialda
imballaggio di cassette

Diagramma dettagliatu

8 pollici SiC03
8 pollici SiC4
8 pollici SiC5
8 pollici SiC6

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