Dia300x1.0mmt Spessore Zaffiro Wafer C-Plane SSP/DSP
Introduzione di a scatula di wafer
Materiali di cristallu | 99,999% di Al2O3, Alta Purezza, Monocristallinu, Al2O3 | |||
Qualità di cristallu | Inclusioni, marchi di blocchi, gemelli, culore, microbolle è centri di dispersione sò inesistenti. | |||
Diametru | 2 pollici | 3 pollici | 4 pollici | 6 pollici ~ 12 pollici |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100 ± 0,3 mm | In cunfurmità cù e disposizioni di a pruduzzione standard | |
Spessore | 430 ± 15 µm | 550 ± 15 µm | 650 ± 20 µm | Pò esse persunalizatu da u cliente |
Orientazione | Pianu C (0001) à pianu M (1-100) o pianu A (1 1-2 0) 0,2 ± 0,1° / 0,3 ± 0,1°, pianu R (1-1 0 2), pianu A (1 1-2 0), pianu M (1-1 0 0), qualsiasi orientazione, qualsiasi angulu | |||
Lunghezza piatta primaria | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | In cunfurmità cù e disposizioni di a pruduzzione standard |
Orientazione piatta primaria | Pianu A (1 1-2 0) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
ARCU | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Orditu | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Superficie frontale | Epi-lucidatu (Ra < 0,2 nm) |
*Arcu: A deviazione di u puntu cintrale di a superficia mediana di una cialda libera, senza serratura, da u pianu di riferimentu, induve u pianu di riferimentu hè definitu da i trè anguli di un triangulu equilateru.
*Deformazione: A differenza trà e distanze massime è minime di a superficia mediana di una cialda libera, senza serratura, da u pianu di riferimentu definitu sopra.
Prodotti è servizii di alta qualità per i dispositivi semiconduttori di prossima generazione è a crescita epitassiale:
Altu gradu di planarità (TTV cuntrullatu, arcu, deformazione ecc.)
Pulizia di alta qualità (bassa contaminazione di particelle, bassa contaminazione di metalli)
Perforazione, scanalatura, taglio è lucidatura di u fondu di u substratu
Allegamentu di dati cum'è a pulizia è a forma di u sustratu (opzionale)
Sè avete bisognu di substrati di zaffiro, per piacè cuntattateci:
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Vi cuntatteremu u più prestu pussibule!
Diagramma dettagliatu

