Effettore finale in ceramica d'allumina d'altu rendimentu (bracciu à forcella) per l'automazione di semiconduttori è camere bianche

Effettore finale in ceramica d'alumina d'altu rendimentu (bracciu à forcella) per l'automazione di semiconduttori è camere bianche Immagine presentata

Descrizzione corta:

L'Effettore Finale in Ceramica d'Alumina, chjamatu ancu bracciu à forchetta ceramica o manu robotica in ceramica, hè un cumpunente di manipulazione d'alta precisione cuncipitu per sistemi automatizati in ambienti di semiconduttori, fotovoltaici, display è laboratori d'alta purezza. Hè cuncipitu per furnisce una stabilità termica eccezziunale, rigidità meccanica è resistenza chimica, offrendu un trasportu pulitu, affidabile è sicuru di materiali sensibili cum'è wafer di siliciu, substrati di vetru è microcumpunenti elettronichi.

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Funziunalità

Diagramma dettagliatu

Introduzione di u produttu

Cum'è un tipu d'effettore finale roboticu, questu cumpunente ceramicu hè l'interfaccia finale trà u sistema d'automatizazione è a pezza. Ghjoca un rolu cruciale in i travaglii di trasferimentu di precisione, allineamentu, carica/scaricamentu è pusizionamentu in camere bianche è ambienti di vuoto.

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Panoramica di i materiali - Ceramica d'alumina (Al₂O₃)

A ceramica d'alumina hè un materiale ceramicu tecnicu assai stabile è chimicamente inerte, cunnisciutu per e so eccellenti proprietà meccaniche è elettriche. L'alumina d'alta purezza (≥ 99,5%) aduprata in questi effettori finali garantisce:

Alta durezza (Mohs 9)Seconda solu à u diamante, l'alumina furnisce una resistenza estrema à l'usura.
Capacità à alta temperaturaMantene l'integrità strutturale sopra i 1600 °C.
Inerzia chimicaResistente à l'acidi, à l'alcali, à i solventi è à l'ambienti di incisione à plasma.
Isolamentu elettricuCù alta resistenza dielettrica è bassa perdita dielettrica.
Bassa espansione termicaAssicura a stabilità dimensionale in ambienti di cicli termichi.
Bassa generazione di particelleEssenziale per a cumpatibilità di e camere bianche (da Classe 10 à Classe 1000).

Queste caratteristiche rendenu a ceramica d'alumina ideale per operazioni critiche in l'industrie sensibili à a contaminazione.

Applicazioni Funziunali

L'effettore finale in ceramica d'alumina hè largamente aduttatu in i prucessi industriali d'alta tecnulugia, in particulare induve i materiali metallichi o plastichi tradiziunali sò insufficienti per via di prublemi di espansione termica, contaminazione o corrosione. I campi d'applicazione principali includenu:

Trasferimentu di wafer di semiconduttori
Sistemi di carica è scaricamentu di fotolitografia
Manipolazione di substrati di vetru in linee OLED è LCD
Trasferimentu di wafer di siliciu cristallinu in a pruduzzione di cellule solari
Ispezione ottica o microelettronica automatizata
Trasportu di campioni in laboratori analitici o biomedicali
Sistemi di automatizazione di l'ambiente di u vacuum

A so capacità di funziunà senza introduce particelle o carica statica a rende indispensabile per operazioni robotiche precise in l'automatizazione di sale bianche.

Funzioni di cuncepimentu è persunalizazione

Ogni effettore finale ceramicu hè cuncipitu per adattassi à un bracciu roboticu specificu o à un sistema di manipulazione di wafer. Supportemu a cumpleta persunalizazione basata annantu à:

Compatibilità di a dimensione di a cialda2", 4", 6", 8", 12" è più
Geometria è spaziatura di e fessureAdatta à a presa di bordu, u supportu laterale posteriore o i disinni di wafer intagliati
Porte d'aspirazioneFori o canali di aspirazione integrati per una manipulazione senza cuntattu
Cunfigurazione di muntaturaFori, fili, fessure adattati à a flangia di l'utensile finale di u vostru robot
Trattamentu di superficiaFinitura lucidata, lappata o rettificata finemente (Ra < 0,2 µm dispunibule)
Prutezzione di i bordiAnguli arrotondati o smussatura per evità danni à u wafer

Utilizendu disegni CAD o mudelli 3D furniti da i clienti, i nostri ingegneri ponu ottimizà ogni bracciu di forcella per pesu, resistenza è pulizia.

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Vantaghji di l'effettori finali ceramici

Funziunalità	Benefiziu
Alta rigidità meccanica	Mantene a precisione dimensionale sottu à e forze di carica robotiche
Eccellente prestazione termica	Funziona in modu affidabile in ambienti à alta temperatura o plasma
Zero Contaminazione da Metalli	Nisun risicu di contaminazione ionica in u trattamentu criticu di semiconduttori
Superficie à bassa attritu	Riduce u risicu di graffi nantu à i substrati di wafer o di vetru
Antistaticu è Non Magneticu	Ùn attrae micca a polvera nè affetta i cumpunenti sensibili à i magneti
Longa Vita di Serviziu	Resistenza superiore à l'usura in cicli di automatizazione ripetitivi à alta velocità
Compatibilità Ultra-Pulita	Adattu per e camere bianche ISO 14644 (Classe 100 è inferiore)

In paragone cù i bracci di plastica o d'aluminiu, a ceramica d'alumina furnisce una stabilità chimica è fisica dramaticamente migliorata cù esigenze di manutenzione minime.

Pruprietà	Bracciu di metallu	Bracciu di plastica	Bracciu di ceramica d'alumina
Durezza	Moderatu	Bassu	Assai altu (Mohs 9)
Stabilità termica	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Resistenza chimica	Moderatu	Poveru	Eccellente
Idoneità per a camera bianca	Mediu	Bassu	Assai altu
Resistenza à l'usura	Mediu	Bassu	Eccezziunale
Forza dielettrica	Bassu	Mediu	Altu
Machinazione di precisione persunalizata	Limitatu	Moderatu	Altu (±0,01 mm pussibule)

Specifiche tecniche

Parametru	Valore
Materiale	Alumina d'alta purezza (≥ 99,5%)
Temperatura di travagliu	Finu à 1600°C
Rugosità di a superficia	Ra ≤ 0,2 µm (opzionale)
Dimensioni di wafer cumpatibili	2" à 12" o persunalizatu
Tolleranza di planarità	±0,01 mm (dipende da l'applicazione)
Supportu di aspirazione à vuoto	Canali opzionali è persunalizabili
Opzioni di muntatura	Fori passanti, flangiati, a fessura

Dumande Frequenti (FAQ)

Q1: L'effettore finale pò esse integratu in i sistemi robotichi esistenti?
A1:Iè. Supportemu a persunalizazione basata annantu à a vostra interfaccia robotica. Pudete mandà ci un disegnu CAD o dimensioni di flangia per un adattamentu precisu.

D2: I bracci in ceramica si romperanu facilmente durante l'usu?
A2:Mentre a ceramica hè fragile per natura, i nostri disinni utilizanu una geometria ottimizzata per minimizà a cuncentrazione di stress. In cundizioni d'usu adatte, furniscenu una durata di serviziu significativamente più longa chè u metallu o a plastica.

Q3: Hè pussibule aduprà questu in camere di incisione à ultra-altu vuoto o à plasma?
A3:Iè. A ceramica d'alumina ùn hè micca degassante, termicamente stabile è resistente à a currusione - perfettamente adatta per ambienti à altu vuotu, gas reattivu o plasma.

Q4: Cumu sò puliti o mantenuti sti cumpunenti?
A4:Puderanu esse puliti cù acqua deionizzata, alcolu, o detergenti cumpatibili cù e camere bianche. Nisuna manutenzione particulare hè necessaria per via di a so stabilità chimica è di a so superficia inerte.

Nantu à noi

XKH hè specializata in u sviluppu high-tech, a pruduzzione è a vendita di vetru otticu speciale è novi materiali cristallini. I nostri prudutti servenu l'elettronica ottica, l'elettronica di cunsumu è l'armata. Offremu cumpunenti ottici in zaffiro, coperture per lenti per telefoni cellulari, ceramica, LT, SIC in carburo di siliciu, quarzu è wafer di cristallo semiconduttore. Cù una cumpetenza qualificata è attrezzature d'avanguardia, eccellemu in a trasfurmazione di prudutti non standard, cù l'obiettivu di esse una impresa high-tech di punta in materiali optoelettronici.