Cialde di quarzu fusu d'alta purezza per semiconduttori, applicazioni ottiche fotoniche 2″4″6″8″12″

Wafer di quarzu fusu d'alta purezza per semiconduttori, applicazioni ottiche fotoniche 2″4″6″8″12″ Immagine in evidenza

Descrizzione corta:

Quarzu Fusu—cunnisciutu ancu cum'èSilice fusa— hè a forma non cristallina (amorfa) di diossidu di siliciu (SiO₂). À u cuntrariu di u borosilicatu o di altri vetri industriali, u quarzu fusu ùn cuntene micca dopanti o additivi, offrendu una cumpusizione chimicamente pura di SiO₂. Hè cunnisciutu per a so trasmissione ottica eccezziunale à traversu i spettri ultravioletti (UV) è infrarossi (IR), superendu i materiali di vetru tradiziunali.

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Funziunalità

Diagramma dettagliatu

Cialde di silice fusa è vetru di quarzu otticu-2

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Panoramica di u vetru di quarzu

I wafer di quarzu formanu a spina dorsale di innumerevoli dispositivi muderni chì guidanu u mondu digitale d'oghje. Da a navigazione in u vostru smartphone à a spina dorsale di e stazioni base 5G, u quarzu furnisce tranquillamente a stabilità, a purezza è a precisione richieste in l'elettronica è a fotonica d'alte prestazioni. Ch'ella supporti circuiti flessibili, permetta sensori MEMS, o formi a basa per l'informatica quantica, e caratteristiche uniche di u quarzu u rendenu indispensabile in tutti l'industrie.

"Silice fusa" o "Quarzu fusu" chì hè a fase amorfa di u quarzu (SiO2). Quandu si cuntrasta cù u vetru borosilicatu, a silice fusa ùn hà micca additivi; dunque esiste in a so forma pura, SiO2. A silice fusa hà una trasmissione più alta in u spettru infrarossu è ultraviolettu paragunata à u vetru nurmale. A silice fusa hè prodotta fundendu è risolidificendu SiO2 ultrapuru. A silice fusa sintetica, invece, hè fatta da precursori chimichi ricchi di siliciu cum'è SiCl4 chì sò gasificati è poi ossidati in una atmosfera di H2 + O2. A polvere di SiO2 furmata in questu casu hè fusa in silice nantu à un substratu. I blocchi di silice fusa sò tagliati in wafer dopu à quale i wafer sò infine lucidati.

Cialde di silice fusa è vetru di quarzu otticu

Caratteristiche principali è vantaghji di a cialda di vetru di quarzu

Ultra-Alta Purezza (≥99.99% SiO2)
Ideale per i prucessi di semiconduttori è fotonici ultra-puliti induve a contaminazione di i materiali deve esse minimizzata.
Ampia gamma di funziunamentu termicu
Mantene l'integrità strutturale da temperature criogeniche finu à più di 1100 °C senza deformazioni o degradazioni.
Trasmissione UV è IR eccezziunale
Offre una eccellente chiarezza ottica da l'ultraviolettu prufondu (DUV) à l'infrarossu vicinu (NIR), supportendu applicazioni ottiche di precisione.
Coefficiente di dilatazione termica bassu
Migliora a stabilità dimensionale sottu à fluttuazioni di temperatura, riducendu u stress è migliurendu l'affidabilità di u prucessu.
Resistenza chimica superiore
Inerte à a maiò parte di l'acidi, alcali è solventi, ciò chì u rende adattatu per ambienti chimicamente aggressivi.
Flessibilità di finitura superficiale
Disponibile cù finiture lucidate ultra-lisce, à una sola faccia o à duie facce, cumpatibile cù i requisiti di fotonica è MEMS.

Prucessu di fabricazione di wafer di vetru di quarzu

I wafer di quarzu fusu sò pruduciuti per via di una seria di passi cuntrullati è precisi:

Selezzione di materie prime
Selezzione di quarzu naturale di alta purezza o fonti sintetiche di SiO₂.
Fusione è fusione
U quarzu hè fusu à ~2000 ° C in forni elettrichi sottu una atmosfera cuntrullata per eliminà inclusioni è bolle.
Furmazione di blocchi
A silice fusa hè raffreddata in blocchi solidi o lingotti.
Affettatura di cialde
E seghe di precisione à diamanti o à filu sò aduprate per taglià i lingotti in spazii grezzi di wafer.
Lappatura è lucidatura
E duie superfici sò appiattite è lucidate per risponde à e specifiche ottiche, di spessore è di rugosità esatte.
Pulizia è Ispezione
I wafers sò puliti in camere bianche di classe ISO 100/1000 è sottumessi à un'ispezione rigorosa per difetti è cunfurmità dimensionale.

Proprietà di a cialda di vetru di quarzu

specificazione	unità	4"	6"	8"	10"	12"
Diametru / taglia (o quadratu)	mm	100	150	200	250	300
Tolleranza (±)	mm	0,2	0,2	0,2	0,2	0,2
Spessore	mm	0,10 o più	0,30 o più	0,40 o più	0,50 o più	0,50 o più
Appartamentu di riferimentu primariu	mm	32,5	57,5	Semi-tacca	Semi-tacca	Semi-tacca
LTV (5mm × 5mm)	μm	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
TTV	μm	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Arcu	μm	±20	±30	±40	±40	±40
Orditu	μm	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5mm × 5mm) < 0,4μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Arrotondamentu di i bordi	mm	Cunforme à a norma SEMI M1.2 / riferitevi à IEC62276
Tipu di superficia		Lucidatu à un latu unicu / Lucidatu à dui lati
Latu lucidatu Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Criterii di u latu posteriore	μm	generale 0.2-0.7 o persunalizatu

Quarzu vs. Altri Materiali Trasparenti

Pruprietà	Vetru di quarzu	Vetru Borosilicatu	Zaffiru	Vetru Standard
Temperatura massima di funziunamentu	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
Trasmissione UV	Eccellente (JGS1)	Poveru	Bene	Assai poveru
Resistenza chimica	Eccellente	Moderatu	Eccellente	Poveru
Purezza	Estremamente altu	Bassu à moderatu	Altu	Bassu
Espansione termica	Assai bassu	Moderatu	Bassu	Altu
Costu	Moderatu à altu	Bassu	Altu	Assai bassu

FAQ di a cialda di vetru di quarzu

Q1: Chì ghjè a differenza trà u quarzu fusu è a silice fusa?
Mentre tramindui sò forme amorfe di SiO₂, u quarzu fusu vene tipicamente da fonti naturali di quarzu, mentre chì a silice fusa hè prodotta sinteticamente. Funzionalmente, offrenu prestazioni simili, ma a silice fusa pò avè una purezza è omogeneità ligeramente più elevate.

Q2: E cialde di quarzu fusu ponu esse aduprate in ambienti à altu vuotu?
Iè. Per via di e so proprietà di bassa degassazione è di l'alta resistenza termica, i wafer di quarzu fusi sò eccellenti per i sistemi di vuoto è l'applicazioni aerospaziali.

Q3: Queste cialde sò adatte per applicazioni laser UV profonde?
Assolutamente. U quarzu fusu hà una alta trasmittanza finu à ~185 nm, ciò chì u rende ideale per l'ottica DUV, e maschere litografiche è i sistemi laser à eccimeri.

Q4: Sustenete a fabricazione di wafer persunalizati?
Iè. Offremu una persunalizazione cumpleta cumprese u diametru, u spessore, a qualità di a superficia, i piani / tacche è a modellazione laser, basata annantu à i vostri requisiti specifici di l'applicazione.

Nantu à noi

XKH hè specializata in u sviluppu high-tech, a pruduzzione è a vendita di vetru otticu speciale è novi materiali cristallini. I nostri prudutti servenu l'elettronica ottica, l'elettronica di cunsumu è l'armata. Offremu cumpunenti ottici in zaffiro, coperture per lenti per telefoni cellulari, ceramica, LT, SIC in carburo di siliciu, quarzu è wafer di cristallo semiconduttore. Cù una cumpetenza qualificata è attrezzature d'avanguardia, eccellemu in a trasfurmazione di prudutti non standard, cù l'obiettivu di esse una impresa high-tech di punta in materiali optoelettronici.

Substratu di zafferu crudu d'alta purezza in biancu di zafferu per a trasfurmazione 5