Wafer SiC di tipu P 4H/6H-P 3C-N 6inch di spessore 350 μm cù Orientazione Piana Primaria

Breve descrizzione:

U wafer SiC di tipu P, 4H / 6H-P 3C-N, hè un materiale semiconduttore di 6 inch cù un spessore di 350 μm è una orientazione piatta primaria, cuncepitu per l'applicazioni elettroniche avanzate. Cunnisciuta per a so alta conductività termale, alta tensione di rottura, è resistenza à temperature estreme è ambienti corrosivi, sta wafer hè adattata per i dispositi elettronichi d'altu rendiment. U doping di tipu P introduce i buchi cum'è i trasportatori di carica primaria, facendu l'ideale per l'elettronica di putenza è l'applicazioni RF. A so struttura robusta assicura un rendimentu stabile in cundizioni d'alta tensione è alta frequenza, facendu bè adattatu per i dispositi di putenza, l'elettronica d'alta temperatura è a cunversione d'energia d'alta efficienza. L'orientazione piatta primaria assicura un allineamentu precisu in u prucessu di fabricazione, dendu coerenza in a fabricazione di u dispusitivu.


Detail di u produttu

Tags di u produttu

Specification4H / 6H-P Tipu SiC Substrati Composite Tabella di parametri cumuni

6 inch di diametru substratu di carburu di siliciu (SiC). Specificazione

Grade Pruduzzione Zero MPDGrade (Z Grade) Pruduzzione StandardGrade (P Grade) Grade Dummy (D Grade)
Diamitru 145,5 mm ~ 150,0 mm
Spessore 350 μm ± 25 μm
Orientazione Wafer -Offasse: 2.0°-4.0°versu [1120] ± 0.5° per 4H/6H-P, In asse: 〈111〉± 0.5° per 3C-N
Densità di micropipe 0 cm-2
Resistività p-tipu 4H/6H-P ≤0,1 Ωꞏcm ≤0,3 Ωꞏcm
n-tipu 3C-N ≤0,8 mΩꞏcm ≤1 m Ωꞏcm
Orientazione Piana Primaria 4H/6H-P -{1010} ± 5,0 °
3C-N -{110} ± 5,0 °
Lunghezza piatta primaria 32,5 mm ± 2,0 mm
Lunghezza Flat Secondaria 18,0 mm ± 2,0 mm
Orientazione Piana Secundaria Silicone a faccia in su: 90 ° CW. da Prime flat ± 5,0 °
Exclusion di Edge 3 mm 6 mm
LTV/TTV/Arcu/Warp ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Rugosità Polacco Ra≤1 nm
CMP Ra≤0.2 nm Ra ≤ 0,5 nm
Cracks Edge Da Luce Alta Intensità Nimu Lunghezza cumulativa ≤ 10 mm, lunghezza unica ≤ 2 mm
Piastre Hex Per Luce Alta Intensità Area cumulativa ≤0.05% Area cumulativa ≤0.1%
Zone Polytype Per Luce Alta Intensità Nimu Area cumulativa ≤ 3%
Inclusioni Visual Carbon Area cumulativa ≤0.05% Area cumulativa ≤3%
A superficia di silicone graffia da a luce di alta intensità Nimu Lunghezza cumulativa≤1 × diametru di wafer
Edge Chips High By Intensity Light Nisunu permessu ≥0.2mm larghezza è prufundità 5 permessi, ≤1 mm ognunu
Contaminazione di a Superficia di Siliciu Per Alta Intensità Nimu
Imballaggio Cassette multi-wafer o contenitore di wafer unicu

Note:

※ I limiti di difetti si applicanu à tutta a superficia di l'ostia eccettu l'area di esclusione di u bordu. # I graffii devenu esse verificati nantu à a faccia Si o

U wafer SiC di tipu P, 4H / 6H-P 3C-N, cù a so dimensione di 6 inch è 350 μm di spessore, ghjoca un rolu cruciale in a produzzione industriale di l'elettronica di putenza d'altu rendiment. A so eccellenti conduttività termica è l'alta tensione di rottura a facenu ideale per a fabricazione di cumpunenti cum'è interruttori di putenza, diodi è transistori utilizati in ambienti à alta temperatura cum'è veiculi elettrici, reti elettriche è sistemi di energia rinnuvevuli. L'abilità di l'ostia per operare in modu efficiente in cundizioni duri assicura un rendimentu affidabile in applicazioni industriali chì necessitanu alta densità di putenza è efficienza energetica. Inoltre, a so orientazione piatta primaria aiuta à l'allineamentu precisu durante a fabricazione di u dispositivu, aumentendu l'efficienza di a produzzione è a coerenza di u produttu.

I vantaghji di i sustrati compositi SiC di tipu N includenu

  • Alta Conductibilità Termale: I wafers di SiC di tipu P dissipanu in modu efficiente u calore, facenu ideali per l'applicazioni à alta temperatura.
  • High Breakdown Voltage: Capace di resistà à alta tensione, assicurendu affidabilità in l'elettronica di putenza è i dispusitivi d'alta tensione.
  • Resistenza à l'ambienti duri: Eccellente durabilità in cundizioni estremi, cum'è temperature elevate è ambienti corrosivi.
  • Cunversione di putenza efficace: U doping di tipu P facilita una gestione efficiente di a putenza, facendu u wafer adattatu per i sistemi di cunversione d'energia.
  • Orientazione Piana Primaria: Assicura un allineamentu precisu durante a fabricazione, migliurà a precisione è a coerenza di u dispusitivu.
  • Struttura sottile (350 μm): U spessore ottimale di l'ostia sustene l'integrazione in i dispositi elettronichi avanzati è limitati in u spaziu.

In generale, u wafer SiC di tipu P, 4H/6H-P 3C-N, offre una gamma di vantaghji chì u facenu assai adattatu per applicazioni industriali è elettroniche. A so alta conductività termale è a tensione di rottura permettenu un funziunamentu affidabile in ambienti à alta temperatura è alta tensione, mentre chì a so resistenza à e cundizioni duri assicura a durabilità. U doping di tipu P permette una cunversione di energia efficiente, facendu ideale per l'elettronica di putenza è i sistemi energetichi. Inoltre, l'orientazione piatta primaria di l'ostia assicura un allineamentu precisu durante u prucessu di fabricazione, aumentendu a coerenza di a produzzione. Cù un spessore di 350 μm, hè adattatu per l'integrazione in i dispositi avanzati è compacti.

Diagramma detallatu

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