Wafer di SiC di tipu P 4H/6H-P 3C-N 6 pollici di spessore 350 μm cù orientazione piatta primaria
Specificazione 4H/6H-P Tipu Substrati Compositi SiC Tabella di parametri cumuni
6 substratu di carburo di siliciu (SiC) di diametru in pollici Specificazione
Gradu | Pruduzzione Zero MPDGradu (Z) Gradu) | Pruduzzione StandardGradu (P Gradu) | Gradu fittiziu (D Gradu) | ||
Diametru | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Spessore | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientazione di a cialda | -Offasse: 2,0°-4,0° versu [1120] ± 0,5° per 4H/6H-P, Nantu à l'asse:〈111〉± 0,5° per 3C-N | ||||
Densità di i microtubi | 0 cm-2 | ||||
Resistività | tipu p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωcm | ≤0.3 Ωcm | ||
tipu n 3C-N | ≤0,8 mΩ·cm | ≤1 m Ωcm | |||
Orientazione Piatta Primaria | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Lunghezza piatta primaria | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lunghezza piatta secundaria | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientazione Piatta Secundaria | Faccia di silicone in sù: 90° in sensu orariu da u pianu Prime ± 5,0° | ||||
Esclusione di u bordu | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Arcu /Orditu | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugosità | Ra ≤1 nm polaccu | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Crepe di bordu da luce d'alta intensità | Nimu | Lunghezza cumulativa ≤ 10 mm, lunghezza unica ≤ 2 mm | |||
Piatti esagonali da luce ad alta intensità | Area cumulativa ≤0,05% | Area cumulativa ≤0,1% | |||
Zone Politipiche per Luce d'Alta Intensità | Nimu | Area cumulativa ≤3% | |||
Inclusioni di Carboniu Visuale | Area cumulativa ≤0,05% | Area cumulativa ≤3% | |||
Graffii di a superficia di u silicone da a luce d'alta intensità | Nimu | Lunghezza cumulativa ≤1 × diametru di a cialda | |||
Chip di bordu d'alta intensità di luce | Nisunu permessu ≥0,2 mm di larghezza è prufundità | 5 permessi, ≤1 mm ognunu | |||
Cuntaminazione di a superficia di u siliciu per alta intensità | Nimu | ||||
Imballaggio | Cassetta multi-cialda o contenitore di cialda unica |
Note:
※ I limiti di difetti s'applicanu à tutta a superficia di a cialda, eccettu per a zona di esclusione di u bordu. # I graffi devenu esse verificati nantu à a faccia Si o
A cialda SiC di tipu P, 4H/6H-P 3C-N, cù a so dimensione di 6 pollici è u so spessore di 350 μm, ghjoca un rolu cruciale in a pruduzzione industriale di elettronica di putenza à alte prestazioni. A so eccellente cunduttività termica è l'alta tensione di rottura a rendenu ideale per a fabricazione di cumpunenti cum'è interruttori di putenza, diodi è transistor utilizati in ambienti à alta temperatura cum'è veiculi elettrici, reti elettriche è sistemi di energia rinnuvevule. A capacità di a cialda di funziunà in modu efficiente in cundizioni difficili garantisce prestazioni affidabili in applicazioni industriali chì richiedenu alta densità di putenza è efficienza energetica. Inoltre, a so orientazione piatta primaria aiuta à un allineamentu precisu durante a fabricazione di u dispositivu, aumentendu l'efficienza di a pruduzzione è a cunsistenza di u produttu.
I vantaghji di i substrati cumposti SiC di tipu N includenu
- Alta conducibilità termicaI wafer di SiC di tipu P dissipanu efficacemente u calore, rendenduli ideali per applicazioni à alta temperatura.
- Alta tensione di rotturaCapacità di suppurtà alte tensioni, assicurendu l'affidabilità in l'elettronica di putenza è in i dispositivi à alta tensione.
- Resistenza à l'ambienti difficiliEccellente durabilità in cundizioni estreme, cum'è temperature elevate è ambienti corrosivi.
- Cunversione di putenza efficienteU dopaggiu di tipu P facilita una gestione efficiente di a putenza, rendendu a cialda adatta per i sistemi di cunversione di energia.
- Orientazione Piatta PrimariaAssicura un allineamentu precisu durante a fabricazione, migliurendu a precisione è a cunsistenza di u dispusitivu.
- Struttura Sottile (350 μm)U spessore ottimale di a cialda permette l'integrazione in dispositivi elettronichi avanzati è cù spazii limitati.
In generale, a cialda SiC di tipu P, 4H/6H-P 3C-N, offre una seria di vantaghji chì a rendenu assai adatta per applicazioni industriali è elettroniche. A so alta cunduttività termica è a tensione di rottura permettenu un funziunamentu affidabile in ambienti à alta temperatura è alta tensione, mentre a so resistenza à cundizioni difficili garantisce a durabilità. U dopaggiu di tipu P permette una cunversione di putenza efficiente, rendendula ideale per l'elettronica di putenza è i sistemi energetichi. Inoltre, l'orientazione piatta primaria di a cialda assicura un allineamentu precisu durante u prucessu di fabricazione, migliurendu a cunsistenza di a produzzione. Cù un spessore di 350 μm, hè adatta per l'integrazione in dispositivi avanzati è compatti.
Diagramma dettagliatu

