Wafer SiC di tipu P 4H/6H-P 3C-N 6inch di spessore 350 μm cù Orientazione Piana Primaria
Specification4H / 6H-P Tipu SiC Substrati Composite Tabella di parametri cumuni
6 inch di diametru substratu di carburu di siliciu (SiC). Specificazione
Grade | Pruduzzione Zero MPDGrade (Z Grade) | Pruduzzione StandardGrade (P Grade) | Grade Dummy (D Grade) | ||
Diamitru | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Spessore | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientazione Wafer | -Offasse: 2.0°-4.0°versu [1120] ± 0.5° per 4H/6H-P, In asse: 〈111〉± 0.5° per 3C-N | ||||
Densità di micropipe | 0 cm-2 | ||||
Resistività | p-tipu 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-tipu 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Orientazione Piana Primaria | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0 ° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0 ° | ||||
Lunghezza piatta primaria | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lunghezza Flat Secondaria | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientazione Piana Secundaria | Silicone a faccia in su: 90 ° CW. da Prime flat ± 5,0 ° | ||||
Exclusion di Edge | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Arcu/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugosità | Polacco Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra ≤ 0,5 nm | ||||
Cracks Edge Da Luce Alta Intensità | Nimu | Lunghezza cumulativa ≤ 10 mm, lunghezza unica ≤ 2 mm | |||
Piastre Hex Per Luce Alta Intensità | Area cumulativa ≤0.05% | Area cumulativa ≤0.1% | |||
Zone Polytype Per Luce Alta Intensità | Nimu | Area cumulativa ≤ 3% | |||
Inclusioni Visual Carbon | Area cumulativa ≤0.05% | Area cumulativa ≤3% | |||
A superficia di silicone graffia da a luce di alta intensità | Nimu | Lunghezza cumulativa≤1 × diametru di wafer | |||
Edge Chips High By Intensity Light | Nisunu permessu ≥0.2mm larghezza è prufundità | 5 permessi, ≤1 mm ognunu | |||
Contaminazione di a Superficia di Siliciu Per Alta Intensità | Nimu | ||||
Imballaggio | Cassette multi-wafer o contenitore di wafer unicu |
Note:
※ I limiti di difetti si applicanu à tutta a superficia di l'ostia eccettu l'area di esclusione di u bordu. # I graffii devenu esse verificati nantu à a faccia Si o
U wafer SiC di tipu P, 4H / 6H-P 3C-N, cù a so dimensione di 6 inch è 350 μm di spessore, ghjoca un rolu cruciale in a produzzione industriale di l'elettronica di putenza d'altu rendiment. A so eccellenti conduttività termica è l'alta tensione di rottura a facenu ideale per a fabricazione di cumpunenti cum'è interruttori di putenza, diodi è transistori utilizati in ambienti à alta temperatura cum'è veiculi elettrici, reti elettriche è sistemi di energia rinnuvevuli. L'abilità di l'ostia per operare in modu efficiente in cundizioni duri assicura un rendimentu affidabile in applicazioni industriali chì necessitanu alta densità di putenza è efficienza energetica. Inoltre, a so orientazione piatta primaria aiuta à l'allineamentu precisu durante a fabricazione di u dispositivu, aumentendu l'efficienza di a produzzione è a coerenza di u produttu.
I vantaghji di i sustrati compositi SiC di tipu N includenu
- Alta Conductibilità Termale: I wafers di SiC di tipu P dissipanu in modu efficiente u calore, facenu ideali per l'applicazioni à alta temperatura.
- High Breakdown Voltage: Capace di resistà à alta tensione, assicurendu affidabilità in l'elettronica di putenza è i dispusitivi d'alta tensione.
- Resistenza à l'ambienti duri: Eccellente durabilità in cundizioni estremi, cum'è temperature elevate è ambienti corrosivi.
- Cunversione di putenza efficace: U doping di tipu P facilita una gestione efficiente di a putenza, facendu u wafer adattatu per i sistemi di cunversione d'energia.
- Orientazione Piana Primaria: Assicura un allineamentu precisu durante a fabricazione, migliurà a precisione è a coerenza di u dispusitivu.
- Struttura sottile (350 μm): U spessore ottimale di l'ostia sustene l'integrazione in i dispositi elettronichi avanzati è limitati in u spaziu.
In generale, u wafer SiC di tipu P, 4H/6H-P 3C-N, offre una gamma di vantaghji chì u facenu assai adattatu per applicazioni industriali è elettroniche. A so alta conductività termale è a tensione di rottura permettenu un funziunamentu affidabile in ambienti à alta temperatura è alta tensione, mentre chì a so resistenza à e cundizioni duri assicura a durabilità. U doping di tipu P permette una cunversione di energia efficiente, facendu ideale per l'elettronica di putenza è i sistemi energetichi. Inoltre, l'orientazione piatta primaria di l'ostia assicura un allineamentu precisu durante u prucessu di fabricazione, aumentendu a coerenza di a produzzione. Cù un spessore di 350 μm, hè adattatu per l'integrazione in i dispositi avanzati è compacti.