SIC CERICA A CERCAMENTAZIONE CERCAMENTI DI SUCTION CERICA DI CERCAMENTE PRECISIONI

SIC CERICA CERICA DI CERCAMENTI DI CERCAMENTI CERCAMENTI CERCAMENTI PRECISIONI PRECISIONIZZATICA MONTA CIRCULATA

Breve descrizzione:

Silico carbide ceram tray Sublam A so alta flatità è a superficia finiscinu assicura un cuntattu pienu trà a cera è u sucker, riduce a contaminazione è danni; Resistenza alta di temperatura è di a corrosione fà chì adattà per ambienti di u prucessu duru; À u stessu tempu, cuncepimentu liggeru è caratteristiche di a longa costu di a recipisce è sò cumpunenti chjave indispensatebili in cacciatore di wafer, pulitirà, litografia.

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Dettaglio di Produttu

Tags di produttu

Caratteristiche materiale:

1. Durata di a durata: La Duressu MoHS di Silicon Carbide hè 9.2-9.5, Secondu solu di diamante, cù forte resistenza.
2. A cunductività termale alta: A cunducduvità termica di Silicon Carbide hè quant'è 120-200 w / M · Fe pò dissipà u calore rapidamente è hè adattatu per un ambiente di temperatura alta.
3. Coefficiente di l'espansione termica di a COEfficiente Termale di Silicon Cariziale (4.0-4-4,5 × 10⁻⁶ / k), pò ancu mantene a stabilità dimensionale à alta temperatura.
4. Stabilità chimica: a resistenza di a corrosia in silicon è a risistenza di a Corrosione Alkali, adattatu per l'usu in un ambiente corrosivu chimicu.
5. A forza meccanica alta: Carbide di silicon hà una forza alta piegata è forza compressiva, è pò risistà grande stress meccanicu.

Caratteristiche:

1.Nin L'industria semiconductor, eccessivisti di wafers si deve esse adupratu una tazzione di astazione, a scurazione di a spia, à e ciavi, masturba, pulizia, a cisa è tagliata annantu à i cecchiali è tagliati.
2.SIlicon carbide Sucker hà una bona conductività termale, pò accurtà in modu efficace u tempu di cera è di cera, migliurà l'efficienza di a produzzione.
3.Silicon carbide vacuum sucker hà ancu una bona resistenza di corrosione à l'acidu è alcali.
4,.comParate cù u carriera tradiziunale Corundum, scorri u caricamentu è scaricà u tempu di riscaldamentu è u tempu di rinfrescante, migliurà l'efficienza di u travagliu; In listessu tempu, pò riduce u vestitu trà i piatti superiore è inferiore è più bassu, mantene una bona precisione di l'avionu, è estendenu a vita di u serviziu circa 40%.
5. A proporzione materiale hè chjucu, pesu ligeru. Hè più faciule per l'operatori di portà pallets, riducendu u risicu di danni di colisione causata da difficultà di trasportu per circa 20%.
6.Size: massimu diametru 640mm; Flatness: 3um o menu

Campu di Applicazione:

1.. Manifattuer semicondduct
● Processazione di wafer:
Per filazione Wafer in PhotoTiografia, Incisione, tinzu, per l'altri prucessi, assicurendu a alta precisione è a CONSISENZAZIONE. A so resistenza alta di temperatura è di a corrosione hè adatta hè adattata per l'ambienti amatori di Hazw semiconductor.
● A crescita epitaxiale:
In Sicu a crescita epitaziinciazione, cum'è mandriatore à calore è fiancà i ragazze, ferruvanu a sozzi di unificità di a temperatura è di a temperatura di u disponimentu.
2. Equipamentu photelectricu
● A fabricatura Led:
Usatu per risolve zaffiro o di sustrato, è cum'è un traspurtadore di riscaldamentu in prucessu di caldu, per assicurà a crescita uniformità, migliurà l'efficienza è a qualità lumosa.
● Diode Laser:
Cum'è un compruzzione di alta precisione, riscattura è riscaldà a stabilità di a temperatura di u prucessu, migliurà a putenza di a pruduzzione è di l'autorizazione di u laser.
3. Machina di precisione
● Processante di cumpunente otticu:
Hè utilizatu per a fissazione cumpunenti di graecazione cum'è lenti ottichi per assicurà una precisione alla precisione è bassa a contenzione, è hè adattatu per l'intensità d'altezza.
● Processazione di ceramica:
Cum'è una alta appuntatura di stabilità, hè adattatu per a macchina di stabilità di a cerca di materiali di ceramica per assicurà una precorazione di machining è in cunsistenza à alta temperatura è un ambiente di corrosì è corrosì.
4. Esperimenti scientifica
● Esperimentu di alta temperatura:
Cum'è un disposimentu di basa di mostra in amicive a temperatura alta, sustene l'esperimenti à temperatura estremente sopra u 1600 ° Centru di a temperature è a stabilità di temperatura.
● Prova di vacu:
Cum'è una mostra arissiva di risolve e riscaldamentu di u trasportatore, per assicurà a precisione è u ripetimbabilità di l'esperimentu, adattatu per u trattamentu di u vaccuu.

Specifica tecniche:

(Propietà materiale)		(Unità)	(SSIC)
(Sicuntenutu sicondu)		(Wt)%	> 99
(Dimensione media di grana)		Micron	4-10
(Densità)		KG / DM3	> 3.14
(Porosità apparente)		Vo1%	<0,5
(Vickters Hardness)	HV 0,5	Gpa	28
* (Forza flexurale) * (trè punti)	20ºC	Mpa	450
(Forza cumpressa)	20ºC	Mpa	3900
(Modulu elasticu)	20ºC	Gpa	420
(Durezza di frattura)		MPA / m '%	3,5
(Conductività termale)	20 ° ºc	*W / (m k)**	160
(Resistività)	20 ° ºc	Ohm.cm	106-108
(Coefficiente di l'espansione termica)	a (RRT ... 80ºC)**	*K-1 10-6**	4,3
(Temperatura massima operativa)		OºC	1700

Cù anni di una spedizione tecnica S, Cusconi ceramichi carbiane In particulare in a fabbricazione di materiali semi-generazione cum'è sic è u gan, a dumanda di a boricon carbide canti sferenti cuntinui chì continuanu à circà. In u FUTTULU, cù u sviluppu rapid di 5g, e vostre attività elettrici è altre tecnulugie, l'altri tecnulugii di a prospettiva di a cerca di siliconzo chuck in a industria semiconduttivanu a semica sera più larga.