Substratu SiC di tipu P 4H/6H-P 3C-N 4 pollici cù un spessore di 350 µm Gradu di pruduzzione Gradu fittiziu
Tavula di parametri di substratu SiC di tipu P 4H/6H-P 3C-N di 4 pollici
4 diametru in pollici di siliconeSubstratu di Carburu (SiC) Specificazione
Gradu | Pruduzzione Zero MPD Gradu (Z) Gradu) | Pruduzzione Standard Gradu (P Gradu) | Gradu fittiziu (D Gradu) | ||
Diametru | 99,5 mm ~ 100,0 mm | ||||
Spessore | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientazione di a cialda | Fora d'asse: 2,0°-4,0° versu [1120] ± 0,5° per 4H/6H-P, Oasse n: 〈111〉± 0,5° per 3C-N | ||||
Densità di i microtubi | 0 cm-2 | ||||
Resistività | tipu p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωcm | ≤0.3 Ωcm | ||
tipu n 3C-N | ≤0,8 mΩ·cm | ≤1 m Ωcm | |||
Orientazione Piatta Primaria | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Lunghezza piatta primaria | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lunghezza piatta secundaria | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientazione Piatta Secundaria | Faccia di silicone in sù: 90° in sensu orariu da u pianu Prime±5,0° | ||||
Esclusione di u bordu | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Arcu /Orditu | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugosità | Ra ≤1 nm polaccu | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Crepe di bordu da luce d'alta intensità | Nimu | Lunghezza cumulativa ≤ 10 mm, lunghezza unica ≤ 2 mm | |||
Piatti esagonali da luce ad alta intensità | Area cumulativa ≤0,05% | Area cumulativa ≤0,1% | |||
Zone Politipiche per Luce d'Alta Intensità | Nimu | Area cumulativa ≤3% | |||
Inclusioni di Carboniu Visuale | Area cumulativa ≤0,05% | Area cumulativa ≤3% | |||
Graffii di a superficia di u silicone da a luce d'alta intensità | Nimu | Lunghezza cumulativa ≤1 × diametru di a cialda | |||
Chip di bordu d'alta intensità di luce | Nisunu permessu ≥0,2 mm di larghezza è prufundità | 5 permessi, ≤1 mm ognunu | |||
Cuntaminazione di a superficia di u siliciu per alta intensità | Nimu | ||||
Imballaggio | Cassetta multi-cialda o contenitore di cialda unica |
Note:
※I limiti di difetti s'applicanu à tutta a superficia di a cialda, eccettu per a zona di esclusione di u bordu. # I graffi devenu esse verificati solu nantu à a faccia di Si.
U substratu SiC di tipu P 4H/6H-P 3C-N di 4 pollici cù un spessore di 350 μm hè largamente applicatu in a fabricazione di dispositivi elettronichi è di putenza avanzati. Cù una eccellente cunduttività termica, una alta tensione di rottura è una forte resistenza à ambienti estremi, questu substratu hè ideale per l'elettronica di putenza ad alte prestazioni cum'è interruttori ad alta tensione, inverter è dispositivi RF. I substrati di qualità di pruduzzione sò aduprati in a fabricazione à grande scala, assicurendu prestazioni affidabili è di alta precisione di i dispositivi, chì sò cruciali per l'elettronica di putenza è l'applicazioni ad alta frequenza. I substrati di qualità fittizia, invece, sò principalmente aduprati per a calibrazione di u prucessu, i test di l'apparecchiature è u sviluppu di prototipi, aiutendu à mantene u cuntrollu di qualità è a cunsistenza di u prucessu in a pruduzzione di semiconduttori.
Specificazione I vantaghji di i substrati cumposti SiC di tipu N includenu
- Alta conducibilità termicaUna dissipazione efficiente di u calore rende u sustratu ideale per applicazioni à alta temperatura è alta putenza.
- Alta tensione di rotturaSupporta u funziunamentu à alta tensione, assicurendu l'affidabilità in l'elettronica di putenza è i dispositivi RF.
- Resistenza à l'ambienti difficiliResistente in cundizioni estreme cum'è temperature elevate è ambienti corrosivi, assicurendu prestazioni à longu andà.
- Precisione di qualità di pruduzzioneAssicura prestazioni di alta qualità è affidabili in a fabricazione à grande scala, adattate per applicazioni avanzate di putenza è RF.
- Gradu fittiziu per i testiPermette una calibrazione precisa di u prucessu, teste di l'attrezzatura è prototipazione senza compromettere i wafer di qualità di pruduzzione.
In generale, u substratu SiC di tipu P 4H/6H-P 3C-N di 4 pollici cù un spessore di 350 μm offre vantaghji significativi per l'applicazioni elettroniche à alte prestazioni. A so alta conducibilità termica è a tensione di rottura u rendenu ideale per ambienti à alta putenza è alta temperatura, mentre a so resistenza à e cundizioni difficili garantisce durabilità è affidabilità. U substratu di qualità di pruduzzione garantisce prestazioni precise è coerenti in a fabricazione à grande scala di elettronica di putenza è dispositivi RF. Intantu, u substratu di qualità fittizia hè essenziale per a calibrazione di u prucessu, i test di l'apparecchiature è a prototipazione, supportendu u cuntrollu di qualità è a coerenza in a pruduzzione di semiconduttori. Queste caratteristiche rendenu i substrati SiC assai versatili per applicazioni avanzate.
Diagramma dettagliatu

