Sustrato SiC P-type 4H/6H-P 3C-N 4inch cù un spessore di 350um Grado di Produzione Grado Dummy

Breve descrizzione:

U sustrato SiC di 4-inch 4H / 6H-P 3C-N P-type, cù un spessore di 350 μm, hè un materiale semiconductor d'altu rendiment largamente utilizatu in a fabricazione di apparecchi elettronici. Cunnisciutu per a so conduttività termale eccezziunale, alta tensione di rottura, è resistenza à temperature estreme è ambienti corrosivi, stu sustrato hè ideale per l'applicazioni elettroniche di putenza. U sustrato di qualità di produzzione hè utilizatu in a fabricazione à grande scala, assicurendu un strettu cuntrollu di qualità è una alta affidabilità in i dispositi elettronichi avanzati. Intantu, u sustrato di qualità dummy hè principalmente utilizatu per debugging di prucessu, calibrazione di l'equipaggiu, è prototipu. E proprietà superiori di SiC facenu una scelta eccellente per i dispositi chì operanu in ambienti à alta temperatura, alta tensione è alta frequenza, cumprese i dispositi di putenza è i sistemi RF.

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4inch SiC substratu P-type 4H / 6H-P 3C-N tabella di paràmetri

4 inch di diametru SiliconCarbure (SiC) substratu Specificazione

Grade			Pruduzzione Zero MPD Grade (Z Grade)	Pruduzzione Standard Grade (P Grade)	Grade Dummy (D Grade)
Diamitru			99,5 mm ~ 100,0 mm
Spessore			350 μm ± 25 μm
Orientazione Wafer			Off asse: 2,0 °-4,0 ° versu [112(-)0] ± 0,5 ° per 4H/6H-P, Oassi n: 〈111〉± 0,5 ° per 3C-N
Densità di micropipe			0 cm-2
Resistività	p-tipu 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏcm		≤0,3 Ωꞏcm
	n-tipu 3C-N		≤0,8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Orientazione Piana Primaria		4H/6H-P	- {1010} ± 5,0 °
		3C-N	- {110} ± 5,0 °
Lunghezza piatta primaria			32,5 mm ± 2,0 mm
Lunghezza Flat Secondaria			18,0 mm ± 2,0 mm
Orientazione Piana Secundaria			Silicone a faccia in su: 90 ° CW. da Prime flat±5,0 °
Exclusion di Edge			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Arcu/Warp			≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Rugosità			Polacco Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra ≤ 0,5 nm
Cracks Edge Da Luce Alta Intensità			Nimu		Lunghezza cumulativa ≤ 10 mm, lunghezza unica ≤ 2 mm
Piastre Hex Per Luce Alta Intensità			Area cumulativa ≤0.05%		Area cumulativa ≤0.1%
Zone Polytype Per Luce Alta Intensità			Nimu		Area cumulativa ≤ 3%
Inclusioni Visual Carbon			Area cumulativa ≤0.05%		Area cumulativa ≤3%
A superficia di silicone graffia da a luce di alta intensità			Nimu		Lunghezza cumulativa≤1 × diametru di wafer
Edge Chips High By Intensity Light			Nisunu permessu ≥0.2mm larghezza è prufundità		5 permessi, ≤1 mm ognunu
Contaminazione di a Superficia di Siliciu Per Alta Intensità			Nimu
Imballaggio			Cassette multi-wafer o contenitore di wafer unicu

Note:

※ I limiti di difetti si applicanu à tutta a superficia di l'ostia eccettu per l'area di esclusione di u bordu. # I graffii devenu esse verificati solu nantu à a faccia Si.

U sustrato SiC di 4-inch 4H / 6H-P 3C-N P-type cù un grossu di 350 μm hè largamente applicatu in a fabricazione avanzata di dispositivi elettronichi è di putenza. Cù un'eccellente conducibilità termale, una alta tensione di rottura, è una forte resistenza à l'ambienti estremi, stu sustrato hè ideale per l'elettronica di putenza d'altu rendiment, cum'è switches d'alta tensione, inverter è dispusitivi RF. I sustrati di qualità di produzzione sò usati in a fabricazione à grande scala, assicurendu un rendimentu affidabile è di alta precisione, chì hè criticu per l'elettronica di putenza è l'applicazioni à alta frequenza. I sustrati di qualità Dummy, invece, sò usati principalmente per a calibrazione di u prucessu, a prova di l'equipaggiu, è u sviluppu di prototipi, aiutendu à mantene u cuntrollu di qualità è a coerenza di u prucessu in a produzzione di semiconduttori.

Specificazione I vantaghji di i sustrati compositi SiC di tipu N includenu

Alta Conductibilità Termale: A dissipazione di calore efficiente face u sustrato ideale per l'applicazioni à alta temperatura è alta putenza.
High Breakdown Voltage: Supporta u funziunamentu di alta tensione, assicurendu affidabilità in l'elettronica di putenza è i dispositi RF.
Resistenza à l'ambienti duri: Durable in cundizioni estremi cum'è temperature elevate è ambienti corrosivi, assicurendu un rendimentu longu.
Pruduzzione-Grade Precisione: Assicura un rendimentu di alta qualità è affidabile in a fabricazione à grande scala, adattatu per applicazioni avanzate di putenza è RF.
Dummy-Grade per a prova: Permette a calibrazione precisa di u prucessu, a prova di l'equipaggiu, è a prototipazione senza compromette i wafers di qualità di produzzione.

In generale, u sustrato SiC di 4-inch 4H/6H-P 3C-N di P-type cù un spessore di 350 μm offre vantaghji significativi per l'applicazioni elettroniche d'altu rendiment. A so elevata conductività termale è a tensione di rottura a facenu ideale per ambienti d'alta putenza è alta temperatura, mentre chì a so resistenza à e cundizioni duri assicura durabilità è affidabilità. U sustrato di qualità di produzzione assicura un rendimentu precisu è coerente in a fabricazione à grande scala di l'elettronica di putenza è di i dispositi RF. Intantu, u sustrato di qualità dummy hè essenziale per a calibrazione di u prucessu, a prova di l'equipaggiu, è a prototipazione, sustene u cuntrollu di qualità è a coerenza in a produzzione di semiconduttori. Queste caratteristiche facenu i sustrati SiC altamente versatili per applicazioni avanzate.