SILICA CARBIE Cericianu tale Sacica Silicon Carbide CARBIE cercatic tubond tree fornoding licenza pitture
Caratteristiche principali:
1. Silicon Carbide Tlava ceramica
- Risistenza alta è in usu hè vicinu à Diamond, è pò cunstarne usura meccanica in u trasfurimentu cerio per un peffistinu wafer per un peffistì wefer per un peffistì wefer per un peffistì wifer per un peffistì wifer per un peffistì wifer per un peffistì wifer per un peffistì wifer per un peffistì wifer per un peffistì wifer per un peffistì wifer per un peffistì wifer for pefond in basso.
- Un coefficienza termale alta è una coefficiente di l'espansione termale di u calore di u calore di u calore di u calore di u calore è a stabilità dimensionale, evità a deformazione causata da u stress termale.
- A fabine alta è a superficia finita: A flatness di a superficia hè finu à u livellu di micru, assicuratu sanu trà a cera è u discu, riduce a contaminazione è danni.
Stabilità Chimica: Resistenza forte di corrosione, amata per i prucessi in bagnatu in a fabricazione di semiconductor.
2. Tubu di ceramica ceramica
- Resistenza alta di temperatura: pò pò travaglià in ambiente di temperatura alta sopra 1600 ° C per un bellu tempu, adattatu per u prucessu di temperatura alta semicondiducativa.
Resistenza di a Corrossione eccellente: resistente à l'acidi, alkalis è una varietà di solvendti chimichi, amati per ambienti di u prucessu d'duru.
- Alta Discissione è purtatu Resistenza: resistinu à l'orosione di particella è u vestitu meccanicu, allargeghja a vita.
- A cunductività termale alta è u coefficiente di bassa: A conduzione termale di a stabilità di calore è dimensione, riduzzione di deformazione o cracking causatu da u stress termale.
Paràmetru di u produttu:
Parametru Carbide Cerbide Cerameté di Cercà à Ceramica:
(Propietà materiale) | (Unità) | (SSIC) | |
(Sicuntenutu sicondu) | (Wt)% | > 99 | |
(Dimensione media di grana) | Micron | 4-10 | |
(Densità) | KG / DM3 | > 3.14 | |
(Porosità apparente) | Vo1% | <0,5 | |
(Vickters Hardness) | HV 0,5 | Gpa | 28 |
* () Forza Flexurale * (trè punti) | 20ºC | Mpa | 450 |
(Forza cumpressa) | 20ºC | Mpa | 3900 |
(Modulu elasticu) | 20ºC | Gpa | 420 |
(Durezza di frattura) | MPA / m '% | 3,5 | |
(Conductività termale) | 20 ° ºc | W / (m * k) | 160 |
(Resistività) | 20 ° ºc | Ohm.cm | 106-108 |
(Coefficiente di l'espansione termica) | a (RRT ** ... 80ºC) | K-1 * 10-6 | 4,3 |
(Temperatura massima operativa) | OºC | 1700 |
U piameta cunsiglianu di u tubu di carbude di ceramica in consumu di ceramicu:
Articuli | Indice |
α-sic | 99% min |
Purone apparente | 16% Max |
Densità ingrossa | 2.7g / cm3 min |
Forza di piegatura à alta temperatura | 100 mpa min |
Coefficiente di l'espansione termica | K-1 4.7X10 -6 |
Coefficiente di conductività termale (1400ºC) | 24 w / mk |
Max. Temperatura di travagliu | 1650ºC |
Applicazioni Principali:
1. Madascon Carbide Pianu di Ceramazione
- Wafer tagliata è lucidà: serve cum'è una piattaforma di cuscinetto per assicurà una alta precisione è stabilità durante u taglio è u pulitu.
- U prucessu di litografia: a wafer hè fissa in a machina di litografia per assicurà a posizione di precisione alta durante l'esposizione.
- Polacudore chimicu (CMP): agisce cum'è una piattaforma di supportu per i pads di lucidatura, furnisce a distribuzione di a pressione uniforme è di a distribuzione di u calore.
2. Tubu di ceramica ceramica
- Tubule di furnace di temperatura alta: Equipamentu di a temperatura alta cum'è furnace di temperatura difficiule è un fornimentu d'ossidazione per portà i wa wa di trattamentu di u prucessu di alta temperatura.
- U prucessu CVD / PVD: Cum'è un tubu di cuscinetti in a camera di reazione, resistente à e temperature alta è gasi corrosivi.
- Accessori di l'equipaggiu semiconductori: Per i scambii di u calore, pipelines di gas, etc., per migliurà l'efficienza di equipaghji termali.
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Diagramma detallatu



