Ventosa per vassoi in ceramica di carburo di siliciu Fornitura di tubi in ceramica di carburo di siliciu sinterizzazione à alta temperatura trasfurmazione persunalizata
Caratteristiche principali:
1. Vassoio ceramicu di carburo di siliciu
- Alta durezza è resistenza à l'usura: a durezza hè vicina à quella di u diamante, è pò suppurtà l'usura meccanica in a trasfurmazione di e cialde per un bellu pezzu.
- Alta conducibilità termica è bassu coefficientu di dilatazione termica: dissipazione rapida di u calore è stabilità dimensionale, evitendu deformazioni causate da stress termicu.
- Alta planarità è finitura superficiale: A planarità di a superficia hè finu à u livellu di micron, assicurendu un cuntattu cumpletu trà u wafer è u discu, riducendu a contaminazione è i danni.
Stabilità chimica: Forte resistenza à a corrosione, adatta per i prucessi di pulizia à umitu è di incisione in a fabricazione di semiconduttori.
2. Tubu ceramicu di carburu di siliciu
- Resistenza à alta temperatura: Pò travaglià in ambienti à alta temperatura sopra à 1600 ° C per un bellu pezzu, adattatu per u prucessu di semiconduttori à alta temperatura.
Eccellente resistenza à a corrosione: resistente à l'acidi, à l'alcali è à una varietà di solventi chimichi, adatta per ambienti di prucessu difficili.
- Alta durezza è resistenza à l'usura: resiste à l'erosione di e particelle è à l'usura meccanica, allunga a vita di serviziu.
- Alta cunduttività termica è bassu cuefficiente di dilatazione termica: cunduttività rapida di u calore è stabilità dimensionale, riducendu a deformazione o a screpolatura causata da u stress termicu.
Parametru di u produttu:
Parametru di u vassoio ceramicu di carburo di siliciu:
| (Pruprietà materiale) | (Unità) | (ssic) | |
| (cuntenutu di SiC) | (Pesu)% | >99 | |
| (Dimensione media di i grani) | micron | 4-10 | |
| (Densità) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porosità apparente) | Vo1% | <0,5 | |
| (Durezza Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Resistenza à a flessione* (trè punti) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Resistenza à a cumpressione) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulu Elasticu) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Resistenza à a frattura) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Conduttività termica) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Resistività) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Coefficiente di dilatazione termica) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura massima di funziunamentu) | oºC | 1700 | |
Parametru di u tubu ceramicu di carburo di siliciu:
| Articuli | Indice |
| α-SIC | 99% minimu |
| Porosità apparente | 16% massimu |
| Densità di massa | 2,7 g/cm3 min |
| Forza di flessione à alta temperatura | 100 Mpa min |
| Coefficiente di Dilatazione Termica | K-1 4.7x10 -6 |
| Coefficiente di conducibilità termica (1400ºC) | 24 W/mk |
| Temperatura massima di travagliu | 1650ºC |
Applicazioni principali:
1. Piastra ceramica di carburo di siliciu
- Tagliu è lucidatura di wafer: serve cum'è piattaforma di supportu per assicurà alta precisione è stabilità durante u tagliu è a lucidatura.
- Prucessu di litografia: A cialda hè fissata in a macchina di litografia per assicurà un pusizionamentu di alta precisione durante l'esposizione.
- Lucidatura Chimica Meccanica (CMP): agisce cum'è una piattaforma di supportu per i cuscinetti di lucidatura, furnendu una pressione uniforme è una distribuzione di u calore.
2. Tubu ceramicu di carburu di siliciu
- Tubu di fornu à alta temperatura: utilizatu per apparecchiature à alta temperatura cum'è fornu di diffusione è fornu d'ossidazione per trasportà cialde per u trattamentu di prucessi à alta temperatura.
- Prucessu CVD/PVD: Cum'è un tubu di supportu in a camera di reazione, resistente à alte temperature è gasi currusivi.
- Accessori per apparecchiature à semiconduttori: per scambiatori di calore, gasdotti, ecc., per migliurà l'efficienza di a gestione termica di l'apparecchiature.
XKH offre una gamma cumpleta di servizii persunalizati per vassoi ceramici in carburo di siliciu, ventose è tubi ceramici in carburo di siliciu. I vassoi è e ventose ceramici in carburo di siliciu, XKH ponu esse persunalizati secondu i requisiti di i clienti di diverse dimensioni, forme è rugosità superficiali, è supportanu un trattamentu di rivestimentu speciale, migliuranu a resistenza à l'usura è a resistenza à a corrosione; Per i tubi ceramici in carburo di siliciu, XKH pò persunalizà una varietà di diametru internu, diametru esternu, lunghezza è struttura cumplessa (cum'è tubu sagomatu o tubu porosu), è furnisce lucidatura, rivestimentu antiossidante è altri prucessi di trattamentu superficiale. XKH assicura chì i clienti possinu prufittà pienamente di i benefici di prestazione di i prudutti ceramici in carburo di siliciu per risponde à i requisiti esigenti di campi di fabricazione di alta gamma cum'è semiconduttori, led è fotovoltaici.
Diagramma dettagliatu
