Wafer di Quarzu SiO₂ Wafer di Quarzu Temperatura MEMS SiO₂ 2″ 3″ 4″ 6″ 8″ 12″
Diagramma dettagliatu


Introduzione

I wafer di quarzu ghjocanu un rollu indispensabile in u prugressu di l'industrie elettroniche, di i semiconduttori è di l'ottica. Truvati in i smartphones chì guidanu u vostru GPS, integrati in stazioni base d'alta frequenza chì alimentanu e rete 5G, è integrati in strumenti chì fabricanu microchip di prossima generazione, i wafer di quarzu sò essenziali. Quessi substrati d'alta purezza permettenu innovazioni in tuttu, da l'informatica quantica à a fotonica avanzata. Malgradu esse derivati da unu di i minerali più abbundanti di a Terra, i wafer di quarzu sò cuncepiti secondu standard straordinarii di precisione è prestazioni.
Chì sò i wafer di quarzu
I wafer di quarzu sò dischi fini è circulari creati da cristalli di quarzu sintetici ultra-puri. Disponibili in diametri standard chì varianu da 2 à 12 pollici, i wafer di quarzu varianu tipicamente in spessore da 0,5 mm à 6 mm. À u cuntrariu di u quarzu naturale, chì forma cristalli prismatici irregulari, u quarzu sinteticu hè cultivatu in cundizioni di laburatoriu strettamente cuntrullate, producendu strutture cristalline uniformi.
A cristallinità inerente di e lastre di quarzu furnisce una resistenza chimica senza paragone, una trasparenza ottica è una stabilità à alte temperature è à stress meccanicu. Queste caratteristiche rendenu e lastre di quarzu un cumpunente fundamentale per i dispositivi di precisione utilizati in a trasmissione di dati, u rilevamentu, u calculu è e tecnulugie basate nantu à u laser.
Specifiche di e cialde di quarzu
Tipu di quarzu | 4 | 6 | 8 | 12 |
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Dimensione | ||||
Diametru (pollice) | 4 | 6 | 8 | 12 |
Spessore (mm) | 0,05–2 | 0,25–5 | 0,3–5 | 0,4–5 |
Tolleranza di Diametru (inch) | ±0,1 | ±0,1 | ±0,1 | ±0,1 |
Tolleranza di spessore (mm) | persunalizabile | persunalizabile | persunalizabile | persunalizabile |
Proprietà Ottiche | ||||
Indice di rifrazione @365 nm | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 |
Indice di rifrazione @546.1 nm | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 |
Indice di rifrazione @1014 nm | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 |
Trasmittanza interna (1250–1650 nm) | >99,9% | >99,9% | >99,9% | >99,9% |
Trasmittanza Totale (1250–1650 nm) | >92% | >92% | >92% | >92% |
Qualità di machinazione | ||||
TTV (Variazione di Spessore Totale, µm) | <3 | <3 | <3 | <3 |
Planarità (µm) | ≤15 | ≤15 | ≤15 | ≤15 |
Rugosità di a superficia (nm) | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
Arcu (µm) | <5 | <5 | <5 | <5 |
Proprietà fisiche | ||||
Densità (g/cm³) | 2.20 | 2.20 | 2.20 | 2.20 |
Modulu di Young (GPa) | 74.20 | 74.20 | 74.20 | 74.20 |
Durezza di Mohs | 6–7 | 6–7 | 6–7 | 6–7 |
Modulu di taglio (GPa) | 31.22 | 31.22 | 31.22 | 31.22 |
Rapportu di Poisson | 0,17 | 0,17 | 0,17 | 0,17 |
Resistenza à a cumpressione (GPa) | 1.13 | 1.13 | 1.13 | 1.13 |
Resistenza à a trazione (MPa) | 49 | 49 | 49 | 49 |
Costante dielettrica (1 MHz) | 3,75 | 3,75 | 3,75 | 3,75 |
Proprietà Termiche | ||||
Puntu di deformazione (10¹⁴.⁵ Pa·s) | 1000°C | 1000°C | 1000°C | 1000°C |
Puntu di ricottura (10¹³ Pa·s) | 1160°C | 1160°C | 1160°C | 1160°C |
Puntu di rammollimentu (10⁷.⁶ Pa·s) | 1620°C | 1620°C | 1620°C | 1620°C |
Applicazioni di e cialde di quarzu
I wafer di quarzu sò cuncepiti apposta per risponde à l'applicazioni esigenti in tutti i settori, cumpresi:
Elettronica è Dispositivi RF
- I wafer di quarzu sò u core di i risonatori è oscillatori di cristallu di quarzu chì furniscenu signali di clock per smartphones, unità GPS, computer è dispositivi di cumunicazione wireless.
- A so bassa dilatazione termica è l'altu fattore Q rendenu i wafer di quarzu perfetti per i circuiti di temporizazione ad alta stabilità è i filtri RF.
Optoelettronica è Imaging
- I wafer di quarzu offrenu una eccellente trasmittanza UV è IR, ciò chì li rende ideali per lenti ottiche, divisori di fasciu, finestre laser è rilevatori.
- A so resistenza à a radiazione permette l'usu in strumenti di fisica d'alta energia è spaziali.
Semiconduttori è MEMS
- I wafer di quarzu servenu cum'è substrati per i circuiti semiconduttori d'alta frequenza, in particulare in l'applicazioni GaN è RF.
- In i MEMS (Sistemi Microelettromeccanichi), i wafer di quarzu cunvertenu i signali meccanichi in elettrichi per via di l'effettu piezoelettricu, attivendu sensori cum'è giroscopi è accelerometri.
Fabbricazione Avanzata è Laboratori
- I wafer di quarzu di alta purezza sò largamente aduprati in laboratori chimichi, biomedicali è fotonici per cellule ottiche, cuvette UV è manipolazione di campioni ad alta temperatura.
- A so cumpatibilità cù l'ambienti estremi li rende adatti per e camere à plasma è l'arnesi di deposizione.
Cumu si facenu e cialde di quarzu
Ci sò duie vie principali di fabricazione per i wafer di quarzu:
Cialde di quarzu fusu
I wafer di quarzu fusi sò fatti fundendu granuli di quarzu naturale in un vetru amorfu, poi tagliendu è lucidendu u bloccu solidu in wafer sottili. Quessi wafer di quarzu offrenu:
- Trasparenza UV eccezziunale
- Ampia gamma di funziunamentu termicu (> 1100 ° C)
- Eccellente resistenza à i shock termichi
Sò ideali per l'attrezzatura di litografia, i forni à alta temperatura è e finestre ottiche, ma ùn sò micca adatti per l'applicazioni piezoelettriche per via di a mancanza d'ordine cristallinu.
Cialde di quarzu cultivate
I wafer di quarzu cultivati sò cultivati sinteticamente per pruduce cristalli senza difetti cù un orientamentu di reticolo precisu. Quessi wafer sò cuncepiti per applicazioni chì richiedenu:
- Anguli di tagliu esatti (X, Y, Z, AT, ecc.)
- Oscillatori d'alta frequenza è filtri SAW
- Polarizatori ottici è dispositivi MEMS avanzati
U prucessu di pruduzzione implica a crescita di sementi in autoclave, seguita da tagliu, orientazione, ricottura è lucidatura.
I principali fornitori di wafer di quarzu
I fornitori mundiali specializati in wafer di quarzu d'alta precisione includenu:
- Heraeus(Germania) – quarzu fusu è sinteticu
- Quarzu Shin-Etsu(Giappone) - suluzioni di wafer di alta purezza
- WaferPro(USA) – wafer è substrati di quarzu di grande diametru
- Korth Kristalle(Germania) – cialde di cristallu sinteticu
U rolu in evoluzione di e cialde di quarzu
I wafer di quarzu cuntinueghjanu à evoluzione cum'è cumpunenti essenziali in i paisaghji tecnologichi emergenti:
- Miniaturizazione– E cialde di quarzu sò fabbricate cù tolleranze più strette per l'integrazione di dispositivi compatti.
- Elettronica di Frequenza Più Alta– I novi disinni di wafer di quarzu si stanu spinghjendu in i duminii mmWave è THz per a 6G è u radar.
- Rilevamentu di prossima generazione– Da i veiculi autonomi à l'IoT industriale, i sensori à basa di quarzu stanu diventendu sempre più vitali.
Dumande frequenti nantu à e cialde di quarzu
1. Chì ghjè una cialda di quarzu ?
Una cialda di quarzu hè un discu finu è pianu fattu di diossidu di siliciu cristallinu (SiO₂), tipicamente fabbricatu in dimensioni standard di semiconduttori (per esempiu, 2", 3", 4", 6", 8", o 12"). Cunnisciuta per a so alta purezza, stabilità termica è trasparenza ottica, una cialda di quarzu hè aduprata cum'è substratu o supportu in varie applicazioni di alta precisione cum'è a fabricazione di semiconduttori, i dispositivi MEMS, i sistemi ottici è i prucessi di vuoto.
2. Chì ghjè a differenza trà u quarzu è u gel di silice ?
U quarzu hè una forma solida cristallina di diossidu di siliciu (SiO₂), mentre chì u gel di silice hè una forma amorfa è porosa di SiO₂, cumunemente usata cum'è dissecante per assorbe l'umidità.
- U quarzu hè duru, trasparente, è hè adupratu in applicazioni elettroniche, ottiche è industriali.
- U gel di silice si prisenta cum'è piccule perle o granuli è hè principalmente adupratu per u cuntrollu di l'umidità in l'imballaggi, l'elettronica è u almacenamentu.
3. À chì servenu i cristalli di quarzu ?
I cristalli di quarzu sò largamente usati in elettronica è ottica per via di e so proprietà piezoelettriche (generanu una carica elettrica sottu stress meccanicu). L'applicazioni cumuni includenu:
- Oscillatori è cuntrollu di frequenza(per esempiu, orologi à quarzu, orologi, microcontrollori)
- cumpunenti ottichi(per esempiu, lenti, lastre d'onda, finestre)
- Risonatori è filtriin RF è dispositivi di cumunicazione
- Sensoriper pressione, accelerazione o forza
- Fabricazione di semiconduttoricum'è substrati o finestre di prucessu
4. Perchè si usa u quarzu in i microchip ?
U quarzu hè adupratu in applicazioni relative à i microchip perchè offre:
- Stabilità termicadurante i prucessi à alta temperatura cum'è a diffusione è a ricottura
- Isolamentu elettricuper via di e so proprietà dielettriche
- Resistenza chimicaà l'acidi è i solventi utilizati in a fabricazione di semiconduttori
- Precisione dimensionaleè bassa espansione termica per un allineamentu litugraficu affidabile
- Mentre u quarzu stessu ùn hè micca adupratu cum'è materiale semiconduttore attivu (cum'è u siliciu), ghjoca un rolu vitale di supportu in l'ambiente di fabricazione, in particulare in forni, camere è substrati di fotomaschere.
Nantu à noi
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