Stage à cuscinetti d'aria SiC ultra-precisione

Imagine presentata di u stadiu cù cuscinetti d'aria in SiC di ultra precisione

Descrizzione corta:

Cù l'evoluzione cuntinua di l'industria di i semiconduttori, l'attrezzatura di trasfurmazione è d'ispezione richiede prestazioni sempre più elevate. Basenduci nantu à una vasta cumpetenza in u cuntrollu di u muvimentu è u pusizionamentu à livellu nanometricu, avemu sviluppatu un stadiu di cuscinetti d'aria di ultra precisione à dui assi planari di tipu H.

Mandate un email à noi

Funziunalità

Diagramma dettagliatu

Panoramica

Cuncepitu cù una struttura ceramica di carburo di siliciu (SiC) ottimizzata per elementi finiti è una tecnulugia di cuscinetti d'aria compensata, u tavulinu offre una precisione, rigidità è risposta dinamica eccezziunali. Hè ideale per:

Trasfurmazione è ispezione di semiconduttori
Micro/nano fabbricazione è metrologia
Tagliu è lucidatura di mosca à scala nanometrica
Scansione di precisione à alta velocità

Caratteristiche principali

Guida à cuscinetti d'aria in SiCper una rigidità è una precisione ultra-alte
Alta dinamicavelocità finu à 1 m/s, accelerazione finu à 4 g, stabilizazione rapida
Asse Y à gantry à doppia trasmissionegarantisce una alta capacità di carica è stabilità
Opzioni di codificatorereticolo otticu o interferometru laser
Precisione di pusizionamentu±0,15 μm;ripetibilità±75 nm
Routing di cavi ottimizatuper un design pulitu è una affidabilità à longu andà
Cunfigurazioni persunalizabiliper bisogni specifichi di l'applicazione

Cuncepimentu di Ultra-Precisione è Architettura à Trasmissione Diretta, Senza Cuntattu

Cornice in ceramica SiC~5× a rigidità di a lega d'aluminiu è ~5× più bassa dilatazione termica, chì garantisce a stabilità à alta velocità è a robustezza termica.
Cuscinettu d'aria cumpensatuU cuncepimentu pruprietariu migliora a rigidità, a capacità di carica è a stabilità di u muvimentu.
Prestazione DinamicaSupporta una velocità di 1 m/s è un'accelerazione di 4 g, ideale per i prucessi à altu rendimentu.
Integrazione senza soluzione di continuitàCompatibile cù i sistemi d'isolamentu di vibrazioni, i tavoli rotativi, i moduli inclinabili è e piattaforme di movimentazione di wafer.
Gestione di i caviU raghju di curvatura cuntrullatu minimizza u stress per una durata di serviziu prolungata.

Motore lineare senza coreMuvimentu lisciu cù forza di cogging zero.
Azionamentu Multi-MotoreU piazzamentu di u mutore nantu à u pianu di carica migliora a rettangulazione, a planarità è a precisione angulare.
Isolamentu termicuI motori sò isolati da a struttura di u palcuscenicu; raffreddamentu à aria o acqua opzionale per cicli di serviziu elevatu.

Specifiche

Modellu	400-400	500-500	600-600
Asce	X (scansione) / Y (passu)	X (scansione) / Y (passu)	X (scansione) / Y (passu)
Corsa (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Precisione (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Ripetibilità (nm)	±75	±100	±100
Risoluzione (nm)	0.3	0.3	0.3
Velocità massima (m/s)	1	1	1
Accelerazione (g)	4	4	4
Rettilineità (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilità (nm)	±5	±5	±5
Carica massima (kg)	20	20	20
Inclinazione/Rollamentu/Imbardata (arc-sec)	±1	±1	±1

Cundizioni di prova:

Alimentazione d'aria: pulita, secca; puntu di rugiada ≤ 0°F; filtrazione di particelle ≤ 0,25 μm; o 99,99% azotu.
Precisione misurata 25 mm sopra u centru di u palcuscenicu à 20 ± 1 °C, 40–60% RH.

Applicazioni

Litografia, ispezione è manipolazione di wafer di semiconduttori
Micro/nano fabbricazione è metrologia di precisione
Fabbricazione di ottiche di alta gamma è interferometria
Aerospaziale è ricerca scientifica avanzata

FAQ - Stage à cuscinetti d'aria in carburo di siliciu

1. Chì ghjè una tappa di cuscinettu d'aria?

Un palcuscenicu à cuscinetti d'aria usa una fina pellicola d'aria pressurizzata trà u palcuscenicu è a guida per furniscemuvimentu senza attritu, senza usura è ultra fluiduÀ u cuntrariu di i cuscinetti meccanichi cunvinziunali, elimina u stick-slip, furnisce una precisione à livellu nanometricu è sustene l'affidabilità à longu andà.

2. Perchè aduprà u carburu di siliciu (SiC) per a struttura di u palcuscenicu ?

Alta rigidità~ 5 × quellu di a lega d'aluminiu, minimizendu a deformazione durante u muvimentu dinamicu.
Bassa espansione termica~5× menu caru chè l'aluminiu, mantenendu a precisione in cundizioni di variazione di temperatura.
LeggeruDensità più bassa paragunata à l'acciaiu, chì permette un funziunamentu à alta velocità è alta accelerazione.
Eccellente stabilitàAmmortizazione è rigidità superiori per un pusizionamentu ultra-precisu.

3. U palcuscenicu hà bisognu di lubrificazione o manutenzione?

Nisuna lubrificazione tradiziunale hè necessaria postu chì ci hènisun cuntattu meccanicuA manutenzione raccomandata include:

Fornituraaria compressa pulita è secca o azotu
Ispezione periodica di filtri è asciugatrici
Monitoraghju di i cavi è di i sistemi di raffreddamentu

4. Chì sò i bisogni di furnimentu d'aria?

Puntu di rugiada: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtrazione di particelle: ≤ 0,25 μm
Aria pulita è secca o azotu puru à 99,99%
Pressione stabile cù fluttuazioni minime

Nantu à noi

XKH hè specializata in u sviluppu high-tech, a pruduzzione è a vendita di vetru otticu speciale è novi materiali cristallini. I nostri prudutti servenu l'elettronica ottica, l'elettronica di cunsumu è l'armata. Offremu cumpunenti ottici in zaffiro, coperture per lenti per telefoni cellulari, ceramica, LT, SIC in carburo di siliciu, quarzu è wafer di cristallo semiconduttore. Cù una cumpetenza qualificata è attrezzature d'avanguardia, eccellemu in a trasfurmazione di prudutti non standard, cù l'obiettivu di esse una impresa high-tech di punta in materiali optoelettronici.