Substratu di ricuperazione fittiziu di wafer di siliciu di 8 pollici di tipu P/N (100) 1-100Ω
Introduzione di a scatula di wafer
A fetta di siliciu di 8 pollici hè un materiale di substratu di siliciu cumunimenti utilizatu è hè largamente utilizata in u prucessu di fabricazione di circuiti integrati. Tali fetta di siliciu sò cumunimenti utilizati per fà vari tipi di circuiti integrati, cumpresi microprocessori, chip di memoria, sensori è altri dispositivi elettronichi. I fetta di siliciu di 8 pollici sò cumunimenti utilizati per fà chip di dimensioni relativamente grande, cù vantaghji cum'è una superficia più grande è a capacità di fà più chip nantu à una sola fetta di siliciu, chì porta à una maggiore efficienza di pruduzzione. A fetta di siliciu di 8 pollici hà ancu bone proprietà meccaniche è chimiche, chì hè adatta per a pruduzzione di circuiti integrati à grande scala.
Caratteristiche di u produttu
8" tipu P/N, wafer di siliciu lucidatu (25 pezzi)
Orientazione: 200
Resistività: 0,1 - 40 ohm•cm (Pò varià da lottu à lottu)
Spessore: 725 +/- 20 um
Primu/Monitoru/Gradu di Test
PROPRIETÀ DI I MATERIALI
Parametru | Caratteristica |
Tipu/Dopante | P, Boru N, Fosforu N, Antimoniu N, Arsenicu |
Orientamenti | <100>, <111> orientazioni di taglio secondu e specificazioni di u cliente |
cuntenutu d'ossigenu | 1019 anniTolleranze persunalizate ppmA secondu e specificazioni di u cliente |
cuntenutu di carbone | < 0,6 ppmA |
PROPRIETÀ MECCANICHE
Parametru | Primu | Monitoriu/Test A | Pruva |
Diametru | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Spessore | 725±20µm (standard) | 725 ± 25 µm (standard) 450 ± 25 µm 625±25µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 725±50µm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Arcu | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Avvolge | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Arrotondamentu di i bordi | SEMI-STD | ||
Marcatura | Solu SEMI-Piatta Primaria, SEMI-STD Piani Jeida Piani, Tacca |
Parametru | Primu | Monitoriu/Test A | Pruva |
Criterii di u latu frontale | |||
Cundizione di a superficia | Lucidatu chimicu meccanicu | Lucidatu chimicu meccanicu | Lucidatu chimicu meccanicu |
Rugosità di a superficia | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Cuntaminazione Particelle à >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Foschia, Pozzi Scorza d'aranciu | Nimu | Nimu | Nimu |
Sega, Marchi Striature | Nimu | Nimu | Nimu |
Criterii di u latu posteriore | |||
Crepe, zampe di gallina, segni di sega, macchie | Nimu | Nimu | Nimu |
Cundizione di a superficia | Causticu incisu |
Diagramma dettagliatu


