Wafer di Diossidu di Siliciu SiO2 wafer spessa Pulitu, Primu è Testu

Wafer di Diossidu di Siliciu SiO2 Wafer Spessu Pulitu, Primu è Test Grade Image Featured

Descrizione breve:

L'ossidazione termale hè u risultatu di l'esposizione di una wafer di siliciu à una cumminazione di agenti oxidanti è calore per fà una strata di diossidu di siliciu (SiO2). A nostra cumpagnia pò persunalizà fiocchi d'ossidu di diossidu di siliciu cù diversi paràmetri per i clienti, cù una qualità eccellente;u spessore di a capa d'ossidu, a compattezza, l'uniformità è l'orientazione di u cristallu di resistività sò tutti implementati in cunfurmità cù i normi naziunali.

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Introduzione di scatula di wafer

Pruduttu	Wafers d'ossidu termale (Si + SiO2).
Metudu di pruduzzione	LPCVD
Pulitura di a superficia	SSP/DSP
Diamitru	2 pollici / 3 pollici / 4 pollici / 5 pollici / 6 pollici
Tipu	Tipu P / Tipu N
Spessore di u stratu d'ossidazione	100 nm ~ 1000 nm
Orientazione	<100> <111>
Resistività elettrica	0,001-25000 (Ω•cm)
Applicazione	Adupratu per trasportatore di campioni di radiazione di sincrotrone, rivestimentu PVD / CVD cum'è sustrato, campione di crescita di magnetron sputtering, XRD, SEM,Forza atomica, spettroscopia infrarossa, spettroscopia di fluorescenza è altri sustrati di teste di analisi, substrati di crescita epitassiale di fasci moleculari, analisi di raghji X di semiconduttori cristallini

I wafers d'ossidu di siliciu sò filmi di diossidu di siliciu cultivati nantu à a superficia di wafers di siliciu per mezu di ossigenu o vapore d'acqua à alte temperature (800 ° C ~ 1150 ° C) utilizendu un prucessu d'ossidazione termale cù l'equipaggiu di tubu di furnace di pressione atmosferica.U gruixu di u prucessu varieghja da 50 nanometri à 2 microns, a temperatura di u prucessu hè finu à 1100 gradi Celsius, u metudu di crescita hè divisu in "ossigenu umitu" è "ossigenu seccu" dui tipi.L'ossidu termale hè una strata d'ossidu "cresciuta", chì hà una uniformità più altu, una densificazione megliu è una forza dielettrica più altu ch'è i strati d'ossidu dipositati CVD, risultatu in una qualità superiore.

L'ossidazione di l'ossigenu seccu

U siliciu reagisce cù l'ossigenu è a capa d'oxidu si move constantemente versu a capa di sustrato.L'ossidazione secca deve esse realizatu à e temperature da 850 à 1200 ° C, cù ritmi di crescita più bassi, è pò esse usatu per a crescita di a porta isolata MOS.L'ossidazione secca hè preferita à l'ossidazione umida quandu hè necessaria una capa d'ossidu di siliciu ultra-sottile di alta qualità.Capacità di ossidazione secca: 15nm ~ 300nm.

2. Wet Oxidation

Stu metudu usa vapore d'acqua per furmà una capa d'ossidu per entra in u tubu di u furnace in cundizioni d'alta temperatura.A densificazione di l'ossidazione di l'ossigenu umitu hè ligeramente peggiu di l'ossidazione di l'ossigenu seccu, ma paragunatu à l'ossidazione di l'ossigenu seccu u so vantaghju hè chì hà un ritmu di crescita più altu, adattatu per a crescita di film di più di 500nm.Capacità di ossidazione umida: 500nm ~ 2µm.

U tubu di furnace d'ossidazione di pressione atmosferica di AEMD hè un tubu di furnace horizontale Czech, chì hè carattarizatu da una alta stabilità di prucessu, una bona uniformità di film è un cuntrollu di particella superiore.U tubu di furnace d'ossidu di siliciu pò processà finu à 50 wafers per tubu, cù un'eccellente uniformità intra-e inter-wafers.