Wafer di siliciu à ossidu termicu à film sottile SiO2 4 pollici 6 pollici 8 pollici 12 pollici
Introduzione di a scatula di wafer
U prucessu principale di fabricazione di wafer di siliciu ossidatu include di solitu i seguenti passi: crescita di siliciu monocristallinu, tagliu in wafer, lucidatura, pulizia è ossidazione.
Crescita di u siliciu monocristallinu: Prima, u siliciu monocristallinu hè cultivatu à alte temperature cù metudi cum'è u metudu Czochralski o u metudu Float-zone. Stu metudu permette a preparazione di monocristalli di siliciu cù alta purezza è integrità di u reticolo.
Tagliu: U siliciu monocristallinu cresciutu hè generalmente in forma cilindrica è deve esse tagliatu in wafer sottili per esse adupratu cum'è substratu di wafer. U tagliu hè generalmente fattu cù una fresa di diamante.
Lucidatura: A superficia di a cialda tagliata pò esse irregulare è richiede una lucidatura chimico-meccanica per ottene una superficia liscia.
Pulizia: A cialda lucidata hè pulita per rimuovere l'impurità è a polvere.
Ossidazione: Infine, i wafer di siliciu sò posti in un fornu à alta temperatura per un trattamentu ossidante per furmà un stratu protettivu di diossidu di siliciu per migliurà e so proprietà elettriche è a resistenza meccanica, è ancu per serve cum'è stratu isolante in i circuiti integrati.
L'usi principali di e cialde di siliciu ossidatu includenu a fabricazione di circuiti integrati, a fabricazione di cellule solari è a fabricazione di altri dispositivi elettronichi. E cialde d'ossidu di siliciu sò largamente aduprate in u campu di i materiali semiconduttori per via di e so eccellenti proprietà meccaniche, stabilità dimensionale è chimica, capacità di funziunà à alte temperature è alte pressioni, è ancu bone proprietà isolanti è ottiche.
I so vantaghji includenu una struttura cristallina cumpleta, una cumpusizione chimica pura, dimensioni precise, bone proprietà meccaniche, ecc. Queste caratteristiche rendenu i wafer d'ossidu di siliciu particularmente adatti per a fabricazione di circuiti integrati d'altu rendimentu è altri dispositivi microelettronici.
Diagramma dettagliatu
