Wafer di carburo di siliciu di alta purezza (senza dopaggio) da 3 pollici, substrati di Sic semi-isolanti (HPSl)
Pruprietà
1. Proprietà fisiche è strutturali
●Tipu di materiale: Carburu di siliciu (SiC) d'alta purezza (senza dopaggio)
●Diametru: 3 pollici (76,2 mm)
●Spessore: 0,33-0,5 mm, persunalizabile secondu i requisiti di l'applicazione.
●Struttura cristallina: politipu 4H-SiC cù una reticola esagonale, cunnisciuta per l'alta mobilità elettronica è a stabilità termica.
●Orientazione:
oStandard: [0001] (pianu C), adattatu per una larga gamma d'applicazioni.
oOpzionale: Fora d'asse (inclinazione di 4° o 8°) per una crescita epitassiale migliorata di i strati di u dispusitivu.
●Planarità: Variazione di spessore totale (TTV) ●Qualità di a superficia:
oLucidatu à oDensità di difetti bassa (densità di microtubi <10/cm²). 2. Proprietà elettriche ●Resistività: >109^99 Ω·cm, mantenuta da l'eliminazione di i dopanti intenzionali.
● Risistenza dielettrica: Alta resistenza à a tensione cù perdite dielettriche minime, ideale per applicazioni di alta putenza.
●Conduttività termica: 3,5-4,9 W/cm·K, chì permette una dissipazione efficace di u calore in dispositivi ad alte prestazioni.
3. Proprietà termiche è meccaniche
● Banda proibita larga: 3,26 eV, chì supporta u funziunamentu in cundizioni di alta tensione, alta temperatura è alta radiazione.
●Durezza: scala Mohs 9, chì garantisce a robustezza contr'à l'usura meccanica durante a trasfurmazione.
● Coefficiente di dilatazione termica: 4,2 × 10−6 / K4,2 \times 10^{-6} / \text{K}4,2 × 10−6 / K, chì garantisce a stabilità dimensionale sottu variazioni di temperatura.
Parametru | Gradu di pruduzzione | Gradu di Ricerca | Gradu fittiziu | Unità |
Gradu | Gradu di pruduzzione | Gradu di Ricerca | Gradu fittiziu | |
Diametru | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Spessore | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Orientazione di a cialda | Nantu à l'asse: <0001> ± 0,5° | In asse: <0001> ± 2,0° | In asse: <0001> ± 2,0° | gradu |
Densità di Microtubi (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Resistività elettrica | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopante | Senza dopaggio | Senza dopaggio | Senza dopaggio | |
Orientazione Piatta Primaria | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | gradu |
Lunghezza piatta primaria | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Lunghezza piatta secundaria | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Orientazione Piatta Secundaria | 90° in sensu orariu da u pianu primariu ± 5,0° | 90° in sensu orariu da u pianu primariu ± 5,0° | 90° in sensu orariu da u pianu primariu ± 5,0° | gradu |
Esclusione di u bordu | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Arcu/Orditu | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Rugosità di a superficia | Faccia Si: CMP, Faccia C: Lucidata | Faccia Si: CMP, Faccia C: Lucidata | Faccia Si: CMP, Faccia C: Lucidata | |
Crepe (Luce d'Alta Intensità) | Nimu | Nimu | Nimu | |
Piastre esagonali (luce d'alta intensità) | Nimu | Nimu | Superficie cumulativa 10% | % |
Zone Politipiche (Luce d'Alta Intensità) | Superficie cumulativa 5% | Superficie cumulativa 20% | Superficie cumulativa 30% | % |
Graffii (Luce d'Alta Intensità) | ≤ 5 graffi, lunghezza cumulativa ≤ 150 | ≤ 10 graffi, lunghezza cumulativa ≤ 200 | ≤ 10 graffi, lunghezza cumulativa ≤ 200 | mm |
Scheggiatura di i bordi | Nisunu ≥ 0,5 mm larghezza/prufundità | 2 permessi ≤ 1 mm larghezza/prufundità | 5 permessi ≤ 5 mm larghezza/prufundità | mm |
Cuntaminazione di a superficia | Nimu | Nimu | Nimu |
Applicazioni
1. Elettronica di putenza
L'ampia banda proibita è l'alta conducibilità termica di i substrati HPSI SiC li rendenu ideali per i dispositivi di putenza chì operanu in cundizioni estreme, cum'è:
●Dispositivi d'alta tensione: Cumpresi MOSFET, IGBT è diodi à barriera Schottky (SBD) per una cunversione di putenza efficiente.
●Sistemi di energia rinnuvevule: cum'è inverter solari è cuntrolli di turbine eoliche.
● Veiculi elettrichi (VE): Aduprati in inverter, caricabatterie è sistemi di trasmissione per migliurà l'efficienza è riduce e dimensioni.
2. Applicazioni RF è Microonde
L'alta resistività è e basse perdite dielettriche di e cialde HPSI sò essenziali per i sistemi à radiofrequenza (RF) è à microonde, cumpresi:
●Infrastruttura di telecomunicazioni: Stazioni base per e rete 5G è e cumunicazioni satellitari.
●Aerospaziale è Difesa: Sistemi radar, antenne phased-array è cumpunenti avionichi.
3. Optoelettronica
A trasparenza è l'ampia banda proibita di 4H-SiC permettenu u so usu in dispositivi optoelettronici, cum'è:
● Fotorivelatori UV: Per u monitoraghju ambientale è a diagnostica medica.
●LED d'alta putenza: Supportanu sistemi d'illuminazione à statu solidu.
●Diodi laser: Per applicazioni industriali è mediche.
4. Ricerca è Sviluppu
I substrati HPSI SiC sò largamente usati in i laboratori di R&S accademichi è industriali per esplorà e proprietà avanzate di i materiali è a fabricazione di dispositivi, cumpresi:
●Crescita di u Stratu Epitassiale: Studi nantu à a riduzione di i difetti è l'ottimisazione di u stratu.
●Studi di Mobilità di Trasportatori: Investigazione di u trasportu di elettroni è lacune in materiali di alta purezza.
●Prototipazione: Sviluppu iniziale di novi dispositivi è circuiti.
Vantaghji
Qualità Superiore:
L'alta purezza è a bassa densità di difetti furniscenu una piattaforma affidabile per applicazioni avanzate.
Stabilità termica:
E proprietà eccellenti di dissipazione di u calore permettenu à i dispositivi di funziunà in modu efficiente in cundizioni di alta putenza è temperatura.
Compatibilità larga:
L'orientazioni dispunibili è l'opzioni di spessore persunalizate garantiscenu l'adattabilità per diverse esigenze di u dispositivu.
Durabilità:
Una durezza eccezziunale è una stabilità strutturale minimizanu l'usura è a deformazione durante a trasfurmazione è l'operazione.
Versatilità:
Adattu per una vasta gamma di industrie, da l'energie rinnuvevuli à l'aerospaziale è e telecomunicazioni.
Cunclusione
A cialda di carburo di siliciu semiisolante d'alta purezza di 3 pollici rapprisenta u culmine di a tecnulugia di i substrati per i dispositivi d'alta putenza, alta frequenza è optoelettronici. A so cumbinazione di eccellenti proprietà termiche, elettriche è meccaniche garantisce prestazioni affidabili in ambienti difficili. Da l'elettronica di putenza è i sistemi RF à l'optoelettronica è a R&S avanzata, questi substrati HPSI furniscenu a basa per l'innuvazioni di dumane.
Per più infurmazioni o per fà un ordine, cuntattateci. A nostra squadra tecnica hè dispunibule per furnisce cunsiglii è opzioni di persunalizazione adattate à i vostri bisogni.
Diagramma dettagliatu



